綜合概述

SM500測(cè)試筆采用表面光電壓技術(shù)，能夠快速、無損傷測(cè)定樣品PN型號(hào)。

SM500采用表面光電壓法測(cè)量PN類型。半導(dǎo)體材料的表面勢(shì)壘的極性表征了材料類型。表面勢(shì)壘的極性可以通過一種非接觸式表面光電壓的測(cè)量方法測(cè)得。該方法使用一斬波激光削減了表面勢(shì)壘。光照射引起的勢(shì)壘變化通過一個(gè)表面耦合電容探頭測(cè)得。PN型號(hào)是由光照射產(chǎn)生的表面勢(shì)壘的變化的極性推得的。

SM500測(cè)試筆內(nèi)置鋰電池，使用BQ27520電源管理芯片，USB接口充電，單次充滿電可測(cè)試次數(shù)高達(dá)15000次。

產(chǎn)品特征

l 便攜式，無接觸PN型號(hào)測(cè)試筆

l 基于表面光電壓法測(cè)試原理，注入深度為5μm

l 無需樣品預(yù)處理

l 任意形狀樣品PN型號(hào)

l 測(cè)試電阻率范圍：＞20 m.ohm

l 測(cè)試時(shí)間：0.5s

l 采用雙色LED顯示測(cè)試結(jié)果

l 內(nèi)置鋰電池，續(xù)航測(cè)量次數(shù)>1萬次

產(chǎn)品應(yīng)用

l 多晶硅提純/鑄錠，直達(dá)單晶，切片，電池片生產(chǎn)

l 可測(cè)量任意形狀單多晶硅樣品