規(guī)格參數(shù)：

測(cè)量范圍：

X向行程：200㎜ 圓工作臺(tái)直徑：φ213㎜

Y向行程：100㎜ 平工作臺(tái)尺寸（㎜）：260×270

測(cè)角目鏡角度分劃范圍：360° 頂針間的*大夾緊長(zhǎng)度：700㎜

螺紋輪廓目鏡角度分劃范圍：±7° 頂針間能容納的*大直徑：φ100㎜

圓工作臺(tái)角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架*大夾緊長(zhǎng)度：200㎜

圓分度頭角度分劃范圍：0°~360° 高頂針架能容納的*大直徑：φ250㎜

主顯微鏡立柱的傾斜范圍：±12° 干涉狹縫旋轉(zhuǎn)范圍：±90°

分度值：

X、Y向分度值：0.0002㎜ 圓工作臺(tái)角度分度值：30″

測(cè)角目鏡角度分度值:1′ 圓分度頭角度分度值：1′

輪廓目鏡角度分度值：±12 主顯微鏡立柱傾斜角度分度值：30′

測(cè)量準(zhǔn)確度（被測(cè)件與儀器溫度差別不大于0.5℃,儀器室內(nèi)溫度20℃±1℃）：

(1+L/100)μm，其中L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位：㎜

物鏡放大率，工作距離及視場(chǎng)直徑：

光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù):

測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3° 定位變動(dòng)性：＜1μm

孔徑大于5㎜時(shí)，可測(cè)孔的*大深度：≈15㎜ 測(cè)力（N）：0.1±0.03

測(cè)量范圍(㎜):5-200

儀器主機(jī)外形尺寸(㎜)長(zhǎng)×寬×高=1300×1250×80

儀器主機(jī)重量：450㎏