系統(tǒng)名稱

1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號(hào)

PECVD-Y12IIH-3Z/G

PECVD-Y12II6H-3Z/G

溫區(qū)

1200℃

加熱區(qū)長(zhǎng)度

420mm

610mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

280mm

400mm

溫區(qū)

雙溫區(qū)

雙溫區(qū)

石英管管徑

Φ50/Φ60/Φ80

Φ80/Φ100

額定功率

3.2Kw

4.8Kw

額定電壓

220V

220V

滑動(dòng)方式

自動(dòng)滑動(dòng)/手動(dòng)滑動(dòng)

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫

控制精度

± 1℃

爐管工作溫度

＜ 1200℃

氣路法蘭

本實(shí)用新型在密封法蘭與管件鏈接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在次使用設(shè)備的時(shí)候安裝

預(yù)加熱溫度

1200℃

預(yù)加熱加熱區(qū)長(zhǎng)度

300mm

預(yù)加熱恒溫區(qū)長(zhǎng)度

160mm

額定功率

1.2KW

額定電壓

220V

溫度控制

國(guó)產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫

控制精度

± 1℃

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)

氣路數(shù)量

3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）

流量范圍

0-500sccm（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定

精度

± 1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

≤ 4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa（表壓力）

系統(tǒng)連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動(dòng)擋板閥及數(shù)顯真空測(cè)量?jī)x

規(guī)格

中真空

高真空

系統(tǒng)真空范圍

10pa-100pa

1×10^-3pa-1×10^-1pa

真空泵

雙極機(jī)械泵理論極限真空度3x10^-3pa，抽氣速率4L/S，出氣口配有油污過(guò)濾器，額定電壓200V，

功率0.55Kw

真空分子泵理論極限真空度5x10^-6pa，抽氣

速率1600L/S，額定電壓200V，功率2Kw

信號(hào)頻率

13.56MHz ± 005%

功率輸出范圍

5W-500W

反射功率

200W

射頻輸出接口

50Ω，N-type，temale

功率穩(wěn)定度

± 0.1%

諧波分量

≤ -50dbc

供電電壓

單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ

整機(jī)功率

≥ 70%

屏幕顯示

正方向功率，匹配器電容位置，偏置電壓值

整機(jī)尺寸

483*500*88mm

爐體外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系統(tǒng)外形尺寸

530*2310*750mm

530*2310*750mm（不含高真空）

系統(tǒng)總重量

300Kg

380Kg