更低的極限壓力的復(fù)合分子泵誕生

時間：2022/10/7閱讀：382

紀(jì)80年代初期，隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，具有大抽氣量和更低的極限壓力的復(fù)合分子泵誕生了。在復(fù)合分子泵中的牽引級又開始利用了盤型分子泵。這主要是盤型分子泵與渦輪分子泵組合可以相互彌補(bǔ)不足。為了使盤型復(fù)合分子泵的性能進(jìn)一步提高，對抽氣通道內(nèi)氣體的輸運(yùn)行為進(jìn)行模擬分析是十分重要的。此后，人們將相當(dāng)多的努力投入到對抽氣通道稀薄氣體流動的研究中。儲繼國于年提出了由渦輪分子泵和組成的復(fù)合分子泵。采用矩方程方法，研究了在自由分子流態(tài)下的抽氣性能。他們發(fā)現(xiàn)性能強(qiáng)烈的依賴轉(zhuǎn)速和幾何參數(shù)。巴德純等利用分子氣體動力學(xué)的理論對抽氣通道內(nèi)氣體的輸運(yùn)行為進(jìn)行模擬，建立了新的流動數(shù)學(xué)模型，計(jì)算出了過渡流態(tài)抽氣通道內(nèi)的壓力場和速度場，推導(dǎo)出了過渡流態(tài)下盤型分子泵抽氣系數(shù)的理論計(jì)算公式，并討論了影響抽氣系數(shù)的因素。采用陽方法研究單級轉(zhuǎn)子一轉(zhuǎn)子組合的連續(xù)流，采用的是無滑移邊界條件和能量方程的一方程。有限差分近似被采用求解帶一網(wǎng)格系統(tǒng)的運(yùn)輸方程。但是，發(fā)現(xiàn)一方程在分子過渡區(qū)不能有效的預(yù)測的性能。通過同時使用方法和第二邊界條件下的一方程數(shù)字化研究了分子的過渡流和滑流態(tài)。以上的研究中，除了等的研究外，大多數(shù)的先前的數(shù)值研究考慮的僅僅是半級，盤型分子泵的抽氣特性進(jìn)行了模擬研究，并討論了盤型分子泵通道幾何參數(shù)對流動特性的影響。全國真空冶金與衰面工租學(xué)術(shù)研討會會談?wù)撐募赋隽送ㄟ^改變泵的尺寸參數(shù)提高抽氣系數(shù)的途徑。最后，進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究和模擬研究結(jié)果的對比，證明模擬計(jì)算結(jié)果在允許的誤差范圍內(nèi)。同年和采用方法研究了穩(wěn)態(tài)和非穩(wěn)態(tài)領(lǐng)域的單級盤型拖動泵?？紤]了兩種不同類型的泵一種是轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)子組合，另一種是轉(zhuǎn)子一定子的組合。為了驗(yàn)證數(shù)值結(jié)果做了一些實(shí)驗(yàn)。數(shù)值結(jié)果和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)之間有好的一致性。盤型分子拖動泵的幾何結(jié)構(gòu)及試驗(yàn)裝幾何結(jié)構(gòu)單級賓型的幾何結(jié)構(gòu)。目前的研究中，轉(zhuǎn)子一轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子一定子的配置都加以考慮。在配置中，螺旋通道做在轉(zhuǎn)子和定子上，在配置中，螺旋通道都做在轉(zhuǎn)盤，的上下面上。