產(chǎn)品介紹

WT-1200IL是一項(xiàng)基于渦流光電導(dǎo)衰減的體壽命單點(diǎn)測試技術(shù)，主要針對不加鈍化的硅棒和硅塊。

優(yōu)勢&總體要求

a)        快速無損檢測

b)        結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便

c)         使用1064nm 紅外光源作為激發(fā)源

d)        有效排除表面復(fù)合的影響

e)        與表面鈍化樣品的μ-PCD有良好相關(guān)性

f)         適合高壽命應(yīng)用場合

g)        的壽命模型以彌補(bǔ)擴(kuò)散壽命損失

h)        軟件具備靈活的校準(zhǔn)功能，便于對測量結(jié)果進(jìn)行必要的調(diào)整

i)          在測量原生晶棒斷面和測量鈍化工藝處理后的樣品結(jié)果之間保持良好的一致性

j)          壽命測試結(jié)果符合基于氧缺陷（頂部）和金屬缺陷影響的硅棒理論壽命衰減趨勢