1. 如果在峰監(jiān)測窗口中m/z28 強(qiáng)度比m/z18強(qiáng)度 大于2則有漏氣可能，進(jìn)一步判斷m/z28強(qiáng)度和m/z69強(qiáng)度比例，小于2即不漏氣，若大于2則有漏氣的可能。
　　2. 確認(rèn)真空啟動的時間，一般情況下真空啟動2小時后才能達(dá)到較穩(wěn)的狀態(tài)，如果啟動時間小于1小時，氮氣峰可能會略高。
　　3. 確認(rèn)系統(tǒng)是否存在假漏氣：
　?、偃绻麆倓偢鼡Q鋼瓶，載氣管路中混入空氣，在一段時間內(nèi)造成氮氣峰較高，可加大分流比，使總流量加大到500 ml/min，吹掃10分鐘后再進(jìn)行漏氣檢查。
　　②如果剛剛更換載氣管路過濾器，在一段時間內(nèi)造成氮氣峰較高，可加大分流比，使總流量加大到500 ml/min，吹掃10鐘后再進(jìn)行漏氣檢查。
　?、廴绻d氣管路中安裝了氦氣過濾器，使用一段時間后過濾器會產(chǎn)生飽和而釋放氮氣，造成峰監(jiān)測時氮氣峰略高，建議更換新的氦氣過濾器。
　　④氦氣純度不夠，雜質(zhì)中含有部分氮氣，在峰監(jiān)測時氮氣峰略高。
　　4. 經(jīng)過以上判斷，若在峰監(jiān)測時依然漏氣，見的漏氣可能有：
　?、偕V柱兩端的螺母是否緊固，新安裝的Vesple壓環(huán)，需要升溫至200-250°C保持10—30分鐘后，降溫后重新緊固才可以*密封。
　?、跈z查進(jìn)樣口密封墊是否已經(jīng)超過使用次數(shù)，進(jìn)樣口螺母是否擰緊。
　　③檢查進(jìn)樣口襯管O型密封圈是否已經(jīng)破損, 進(jìn)樣口襯管螺母是否擰緊。
　?、苋绻婵涨婚T的密封圈上沾有灰塵，也會造成系統(tǒng)漏氣，請關(guān)閉真空后打開真空腔門，清除密封圈上的灰塵，重新啟動真空，進(jìn)行漏氣檢查。