當前位置:安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>低壓CVD法石墨烯制備設(shè)備>> 大面積CVD石墨烯生長設(shè)備
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地合肥市
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更新時間:2023-05-16 07:48:04瀏覽次數(shù):184次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)低真空CVD石墨烯生長系統(tǒng)(型號:BTF-1200C-CVD)
| 設(shè)備尺寸 | Φ300*2800mm |
| 爐管尺寸 | Φ300*3000mm |
| 進料量 | 20Kg |
| 加熱元件 | 進口KTL電阻絲 |
| 加熱區(qū)數(shù)量 | 3-8區(qū)(可根據(jù)需求定制) |
| 溫度 | 室溫至1200℃,連續(xù)可調(diào) |
| 控溫方式 | 人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制 |
| 無紙記錄 | 內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù) |
| 結(jié)構(gòu)描述 | ①設(shè)備可電動對半開啟,自動控制冷卻降溫系統(tǒng).實現(xiàn)可控冷卻速度. ②在進料端配備2路高精度質(zhì)量流量計系統(tǒng),準確控制氣體流量,可以實現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。 ③系統(tǒng)采用自動化工藝流程,設(shè)定好工藝一鍵操作。降低人為因素,工藝可靠性可以達到99.9%; ④機械泵系統(tǒng):1pa,另外配備微調(diào)系統(tǒng),確??梢栽诜€(wěn)定負壓下生長石墨烯;可實現(xiàn)日產(chǎn)20萬平方厘米石墨烯薄膜 |
| 腔體 | 采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換,防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現(xiàn)象 |
| 供氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計 |
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