X.Y軸測量精度(μm)3+L/150

Z軸測量精度(μm):5+L/100

重復(fù)精度（mm）0.005

運(yùn)動(dòng)速度(mm/s):XY軸=0~150    Z軸=0~100

光柵尺:1.0μm分辯率玻璃光柵尺

圖像傳感器CCD:SBK-HC536 700線工業(yè)彩色相機(jī)

視頻采集卡：高解晰度彩色視頻卡

導(dǎo)軌:Z軸：“HIWIN"P級(jí)直線導(dǎo)軌      X、 Y軸：精密V型導(dǎo)軌

絲桿：“TBI"研磨滾珠絲桿    

光學(xué)系統(tǒng):6.5:1連續(xù)變倍卡位鏡筒

放大倍率:光學(xué)放大倍率:0.7-4.5X;影像放大倍率:24-158X

軟件:SBK-JCNC全自動(dòng)測量軟件

輪廓光源系統(tǒng):LED冷光源,256級(jí)亮度程控可調(diào)

表面光源系統(tǒng):四環(huán)八區(qū)LED冷光源,各區(qū)獨(dú)立操控,256級(jí)亮度程控可調(diào)

運(yùn)動(dòng)控制:SBK3400全閉環(huán)控制系統(tǒng)

電 機(jī)：TIGER交流同步伺服電機(jī)

操作方式:軟件