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上海市加惠儀器儀表有限公司
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高溫應用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列

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更新時間：2025-03-10 15:31:30瀏覽次數(shù)：207次

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高溫應用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列 耐溫150℃，*大流量1050SLM，概要SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

商品詳情

高溫應用質(zhì)量流量控制器 SEC-8000 系列

耐溫150℃，*大流量1050SLM，

概要

SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀場/厚禮博品牌的特殊產(chǎn)品, 可以在高溫環(huán)境下工作, 實現(xiàn)超潔凈狀況下百萬分之上等別的超小流量的分析與控制，能夠滿足復雜多變的半導體制程需求。 而HORIBA集團也為可以給客戶提供全系列的產(chǎn)品而感到驕傲。

特征

· 適用于高溫：可滿足150℃烘焙
· 具備數(shù)字式流量計的高精度性能-高控制精度：±1.0% 設定流量.
· 超快速響應
· 超潔凈處理
· 滿足RoHS 環(huán)境標準

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
  • 適用于高溫：可滿足150℃烘焙
  • 產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
  • 超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
  • *適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

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