超聲掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測設備。在工作中采用反射或者透射等掃描方式來檢查元器件、材料、晶圓等樣品內部的分層、空洞、裂縫等缺陷。
利用超聲波脈沖回波的性質，激勵壓電換能器發(fā)射出多束超聲波通過耦合液介質傳遞到被測樣品，聲波這種機械波傳遞過程類似電磁波，在經過不同介質時會發(fā)生折射、反射等現象，通過聲阻抗不同的材料時會發(fā)生波形相位、能量上的變化等現象，經過一系列數據采集計算形成灰度值圖片，可用來分析樣品內部狀況。
作為無損檢測分析中的一種，它可以實現在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的應用在物料檢測（IQC）、失效分析（FA）、破壞性物理分析（DPA）、可靠性分析、元器件二次篩選、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/REL)、研發(fā)(R&D)等領域。
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