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日本HORIBA LU 系列自動(dòng)供液系統(tǒng)LU-A1000 series

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

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更新時(shí)間：2025-09-02 08:50:32瀏覽次數(shù)：134次

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LU 系列自動(dòng)供液系統(tǒng)以不間斷、安全和可靠的方式將液態(tài)化學(xué)品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。



  • 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
  • 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
  • LU-A1000 系列設(shè)計(jì)緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
  • 日常維護(hù)時(shí)輕松更換部件
  • 脫氣器模塊為標(biāo)準(zhǔn)配置，可降低液體鼓泡風(fēng)險(xiǎn)，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應(yīng)用
  • 安全標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2/S8/S14, CE 標(biāo)志
  • 安全改善：多樣化的監(jiān)視設(shè)備提供全自動(dòng)控制。LU-A1000 系列配備了自動(dòng)緊急關(guān)機(jī)功能，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障，該功能將被啟動(dòng)
  • 可操作性改進(jìn)：操作步驟全自動(dòng)化，防止操作失誤。操作也可以通過設(shè)備前端的觸控面板來控制


LU 系列自動(dòng)供液系統(tǒng)

LU 系列以不間斷、安全和可靠的方式將液態(tài)化學(xué)品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。這增加了正常運(yùn)行時(shí)間，減少了操作人員手動(dòng)操作和制程污染的風(fēng)險(xiǎn)。

LU 系列提供自動(dòng)執(zhí)行殘余液體清洗程序的功能。

使用 LU 系列提高了供液能力和保養(yǎng)效率。

特征：


  • 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
  • 可選配稱重傳感器，監(jiān)視母罐中殘余液體總量
  • LU-A1000 系列設(shè)計(jì)緊湊，采用集成氣體系統(tǒng)，與傳統(tǒng)配件相比，可顯著減小尺寸
  • 日常維護(hù)時(shí)輕松更換部件
  • 脫氣器模塊為標(biāo)準(zhǔn)配置，可降低液體鼓泡風(fēng)險(xiǎn)，適用于各種汽化系統(tǒng)，包括注入和烘烤應(yīng)用
  • 安全標(biāo)準(zhǔn)：SEMI S2/S8/S14, CE 標(biāo)志
  • 安全改善：多樣化的監(jiān)視設(shè)備提供全自動(dòng)控制。LU-A1000 系列配備了自動(dòng)緊急關(guān)機(jī)功能，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障，該功能將被啟動(dòng)
  • 可操作性改進(jìn)：操作步驟全自動(dòng)化，防止操作失誤。操作也可以通過設(shè)備前端的觸控面板來控制
技術(shù)參數(shù)：



Model

LU-A1000 series

Liquids supported

TEOS, TMOB, TMOP, TEOP, BTBAS

Supply method

Pressure movement from He gas

Gas supply pressure

For pressure movement: 0.3 to 0.6 MPa (G); For purge: 0.3 to 0.6 MPa (G), OP N2 0.6 to 0.7 MPa (G)

Tank

Maximum 5-gallon container can be attached (outside of production range)

Operation

Automatic supply/stop using external signal from supply system

Operation area display details

Pressure error display; When an alarm is triggered: Display hold function (manual reset); Liquid level display; Sequence, etc.

Gas connection

Refer to basic flow

Power source

AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 300 VA

Electricity connection

AC 100 to 240 V breaker connection, signal receptacle

External dimensions

See external dimensions diagram

* Please make decisions regarding the specifications above after meeting with STEC.

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外形尺寸


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