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HORIBA SEC-Z700S系列 新型壓力補(bǔ)償質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2025-09-02 10:17:35瀏覽次數(shù)：436次

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SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能，可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。


● 確保 1% 設(shè)定點(diǎn)精度（流量≥5%）

● 高重復(fù)性（≤±0.15% 設(shè)定點(diǎn)/流量≥5%）

● 范圍控制廣（0.5-99% 滿量程）

● 可調(diào)響應(yīng)（300ms≤t≤1000ms）

● 高操作溫度（15-60℃）

● 低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）

● 高耐腐蝕性設(shè)計(jì)


SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補(bǔ)償功能，可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復(fù)雜性。

基本特征

多氣體/多量程功能，客戶可以更改氣體類型和滿量程流量
穩(wěn)定控制氣流，不受上流和下流壓力波動的影響
集成多重顯示
超潔凈設(shè)計(jì)：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）
尺寸緊湊，50 SLM 以內(nèi)采用相同的安裝尺寸
信號兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式

主要特征

確保 1% 設(shè)定點(diǎn)精度（流量≥5%）
高重復(fù)性（≤±0.15% 設(shè)定點(diǎn)/流量≥5%）
范圍控制廣（0.5-99% 滿量程）
可調(diào)響應(yīng)（300ms≤t≤1000ms）
高操作溫度（15-60℃）
低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）
高耐腐蝕性設(shè)計(jì)

技術(shù)參數(shù)：



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