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微小液體質(zhì)量流量計LF-F	微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F
提供超低微小流量檢測	提供超低微小流量控制
可精準(zhǔn)檢測低沸點(diǎn)和高粘度液液體	可精準(zhǔn)控制低沸點(diǎn)和高粘度液液體
抗壓性：10MPa	抗壓性：10MPa
超潔凈	超潔凈

HORIBA STEC 微小液體質(zhì)量流量計LF-F 質(zhì)量流量控制器LV-F,具備冷卻測試方式的液體質(zhì)量流量計，可精確
檢測低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合 RoHaS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)

微小液體質(zhì)量流量計LF-F
微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F

提供超低微小流量檢測

提供超低微小流量控制

可精準(zhǔn)檢測低沸點(diǎn)和高粘度液液體

可精準(zhǔn)控制低沸點(diǎn)和高粘度液液體

抗壓性：10MPa

抗壓性：10MPa

超潔凈

超潔凈

質(zhì)量流量控制器

型號	LV-F20 (PO/MO)	LV-F30 (PO/MO)	LV-F40 (PO/MO)	LV-F50 (PO/MO)	LV-F60 (PO/MO)
全標(biāo)度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?99% F.S.
對象液體種類*1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2	低于 0.01 Pa·s (10cp)
精度*3	±1% F.S.
直線性*3	±0.5% F.S.
重復(fù)性*3	±0.5% F.S.
響應(yīng)精度	3秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
使用環(huán)境溫度*4	5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響 Span	±0.1%F.S./℃
工作差壓值*5	0.05?0.3MPa
耐壓	1MPa
壓力損失	ー
流量設(shè)定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī) 格	PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)
接液部材質(zhì)	PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　MO類型：SUS316L，Ni
標(biāo)準(zhǔn)接頭	1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR 1/8"VCR 1/8"VCR			1/8"SWL類型，1/8"VCR類型	1/4"SWL類型1/4"VCR類型

質(zhì)量流量計

型號	LF-F20M-A	LF-F30M-A	LF-F40M-A	LF-F50M-A	LF-F60M-A
全標(biāo)度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?99% F.S.
對象液體種類*1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外
液體粘度*2	不高于 0.1 Pa·s (100cp)
精度*3	±1% F.S.
直線性*3	±0.5% F.S.
重復(fù)性*3	±0.5% F.S.
響應(yīng)精度	3秒以內(nèi)(T98)		2秒以內(nèi)(T98)
使用環(huán)境溫度*4	5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃
工作差壓值值*5	不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)
耐壓	10MPa (視為流量計)
壓力損失	不高于 500Pa
流量設(shè)定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質(zhì)	SUS316L, Ni
標(biāo)準(zhǔn)接頭	1/16"，1/8"SWL類型，1/8"VCR類型			1/8"SWL類型，1/8"VCR類型	1/4"SWL類型1/4"VCR類型

*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正(請預(yù)先所使用的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)*行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)*行咨詢協(xié)商。
*3：以SEMI E56-1296為準(zhǔn)。
*4：進(jìn)行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
外形尺寸：