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概要

高精度/快速響應(yīng)
多種通訊（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC設(shè)計(jì)
核心部件日本進(jìn)口
流量規(guī)格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、無需矯正可任意角度安裝。
概要
高精度/快速響應(yīng)
多種通訊（RS485 / PROFIBUS / DeviceNet / EtherCAT）
HORIBA STEC設(shè)計(jì)
核心部件日本進(jìn)口
流量規(guī)格：(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
技術(shù)參數(shù)

編號(hào)	項(xiàng)目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-99%F.S.
6	流量測(cè)量范圍	0-99%F.S.
7	響應(yīng)時(shí)間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa(G)
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s(He)
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設(shè)定信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15
22	重量(kg)	0.9