多氣體/多量程系統(tǒng)使用戶可以自由更改氣體類型或滿量程流量。

• 控制范圍廣，從微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）

• 支持多種通信模式：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
• 高精度：+/- 1.0% 設定點 (*1)
• 1 秒高速響應（*1）
• 多氣體/多量程功能

日本HORIBA SEC-N100質(zhì)量流量控制器

概要

質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造。

SEC-N100 系列支持多氣體/多量程系統(tǒng)使用戶可以自由更改氣體類型或滿量程流量。

1. 控制范圍廣，從微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）
2. 支持多種通信模式：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®
3. 高精度：+/- 1.0% 設定點 (*1)
4. 1 秒高速響應（*1）
5. 多氣體/多量程功能

外形尺寸