詳細摘要: 等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。主要是通過空氣、氧氣或...
產(chǎn)品型號:所在地:上海更新時間:2026-01-29 在線留言
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詳細摘要: 等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。主要是通過空氣、氧氣或...
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