寧波普瑞思儀器科技有限公司
2022/3/27
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等離子清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝上的應(yīng)用
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,對工藝技術(shù)的要求越來越高,特別是對半導(dǎo)體圓片的表面質(zhì)量要求越來越嚴(yán),其主要原因是圓片表面的顆粒和金屬雜質(zhì)沾污會嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率,在目前的集成電路生產(chǎn)中,由于圓片表面沾污問題,仍有50%以上的材料被損失掉。在半導(dǎo)體【詳細(xì)】 閱讀:52儀表網(wǎng) 設(shè)計制作,未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
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