能量色散型X熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能t范圍在0.1^-100keV的光子。X射線光譜儀與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。X射線熒光光譜儀是由物質中的組成元素產(chǎn)生的特征輻射，通過側里和分析樣品產(chǎn)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家組成，得到物質成分的定性和定量信息。

特征能量色散型X熒光光譜儀的產(chǎn)生與特性當用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加速度會產(chǎn)生寬帶的連續(xù)X射線譜，簡稱為連續(xù)潛或韌致輻射。另一方面，化學元素受到高能光子或粒子的照射，如內層電子被激發(fā)，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。特征X射線是一種分離的不連續(xù)譜。如果激發(fā)光源為x射線，則受激產(chǎn)生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征x射線顯示了特征x射線光譜儀產(chǎn)生的過程。

當能量色散型X熒光光譜儀撞擊原子中的電子時，如光子能量大于原子中的電子束縛能，電子就會被擊出。這一相互作用過程被稱為光電效應，被打出的電子稱為光電子。通過研究光電子或光電效應可以獲得關于原子結構和成鍵狀態(tài)的信息。在這一過程中，如人射光束的能量大得足以擊出外射原子中的內層電子，就會在原子的內殼層產(chǎn)生空穴，這時的原子處于非穩(wěn)態(tài)，層電子會從高能軌道躍遷到低能軌道來充填軌道空穴線的形式釋放，原子恢復到穩(wěn)態(tài)。