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閱讀：566發(fā)布時(shí)間：2022-3-15
應(yīng)用數(shù)字全息顯微鏡DHM檢測分析MEMS陀螺儀諧振頻率
概述
陀螺儀動態(tài)特性測試方法主要分為三類：躍階法、反饋法和頻率法[1-2]，其中階躍法受經(jīng)驗(yàn)公式和突停臺限制精度較低，反饋法在測量中受多種因素影響不利于實(shí)際應(yīng)用。頻率法是目前應(yīng)用最多的動態(tài)特性測試方法[3]。
來自瑞士洛桑理工的數(shù)字全息顯微鏡DHM是一項(xiàng)創(chuàng)新的產(chǎn)品，不同于以上三種方法，DHM拍攝單張全息圖即可實(shí)時(shí)重建樣品的三維形貌信息，并且縱向達(dá)到了亞納米精度。配套軟件MEMS Analysis Tool提供了量化和精確的3D空間分析和頻率分析，離面運(yùn)動精度達(dá)到MEMS激光測振儀精度（5pm），面內(nèi)運(yùn)動精度則遠(yuǎn)超MEMS測振儀精度，達(dá)到了1nm。
待測MEMS陀螺儀器件情況如下：
（1）驅(qū)動：需要施加正弦交流信號，幅值5mA，頻率掃描范圍：10KHz-100KHz；
（2）檢測：得到器件的諧振頻率，得到位移-頻率的幅頻響應(yīng)曲線；
（3）器件的運(yùn)動方向是面內(nèi)運(yùn)動，即X,Y平面內(nèi)運(yùn)動（理想情況），位移不超過5微米；器件不同地方位移量不同；
（4）器件已經(jīng)和PCB板連接，需要探針扎到PCB板上的電極來施加信號。
測量儀器與方法簡介：
所采用數(shù)字全息顯微鏡型號為DHM-R-2100，選配了頻閃模塊和MEMS analysis Tool軟件，可測頻率可達(dá)25MHz，可測量視野里任意方向的面內(nèi)面外復(fù)雜運(yùn)動的振幅、相位、位移、速度、加速度等。
測量結(jié)果與分析：
針對該批待檢測陀螺儀先是采用電學(xué)測量方法估計(jì)了器件諧振頻率大概范圍，以縮小掃描范圍加快測量速度。接下來采用掃頻方式進(jìn)行了快速測量，快速找到了器件的諧振峰，快速完成了諧振分析。
對于未起振的器件，部分大的器件可能是電壓過大已失效，部分小的器件可能是剝蝕工藝不過關(guān)未*剝離，需采用壓電陶瓷再次確認(rèn)是否起振。
[1] Jiang Qing憶 an, Wu Wenqi. Temperature adaptability of digital control circuit and dynamic characteristic study for hemispherical resonator gyro [D]. Changsha: National University of Defense Technology, 2003.
姜慶安,吳文啟 .半球諧振陀螺數(shù)字控制電路溫度適應(yīng)性及陀螺動態(tài)特性研究 [D]. 長沙:國防科 技大學(xué),2003.
[2] Zhao Xiaoning, Han Zonghu, Li Xianluo, et al. Improving mechanically dithered RLG vibration performance [J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(7): 0731003. (in Chinese)
趙小寧 , 韓宗虎 , 李縣洛等 . 提高機(jī)械抖動激光陀螺抗振性能 [J]. 紅外與激光工程 , 2016, 45(7): 0731003.
[3]張 謝，葉宗民. 激光多普勒測振儀對激光陀螺動態(tài)特性測試分析[J].紅外與激光工程,2017,47(7):0706005
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