超純水器采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級紫外殺菌處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。
超純水器其原理都是自來水經(jīng)過精密濾芯和活性炭濾芯進(jìn)行預(yù)處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異味等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進(jìn)行水質(zhì)純化脫鹽，純化水進(jìn)入儲水箱儲存起來，其水質(zhì)可以達(dá)到國家三級水標(biāo)準(zhǔn)，同時反滲透裝置產(chǎn)水的廢水(亦稱"濃水")排掉。反滲透純水通過純化柱進(jìn)行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，最后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細(xì)菌、微粒、熱源等。
超純水器的使用壽命與水質(zhì)、日常維護(hù)有著緊密的聯(lián)系。水質(zhì)差、日常不注重清洗維護(hù)會加重縮短超純水器的使用期。在超純水器的水箱及RO膜表面極易產(chǎn)生菌膜，菌膜會使純水器的運轉(zhuǎn)出現(xiàn)問題，如造成濾膜阻塞、內(nèi)壓升高、系統(tǒng)漏水、增壓泵損壞;菌膜也造成離子交換樹脂無法正常工作;菌膜還會阻塞RO膜;定期清洗水箱;及時更換耗材，不管用水量大小，凡是浸泡在水中的耗材都不可避免地形成菌膜，使用中要根據(jù)情況及時更換純水器的耗材，這樣才可避免菌膜的產(chǎn)生并使純水器達(dá)到狀態(tài)，保持實驗結(jié)果在低污染背景下的高一致性。
