全自動氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)

1、真空模式小可檢漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）

真空模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s

2、吸槍模式小可檢漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）

吸槍模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s

3、啟動時間：≤3min

4、響應(yīng)時間：≤0.5s

5、檢漏口的壓力：1500Pa

6、電源要求：220v，50Hz，單相，10A

7、工作環(huán)境：5-35℃

9、相對濕度：≤80%

9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）

10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg

全自動氦質(zhì)譜檢漏儀主要配置

1、德國普發(fā)檢漏儀分子泵（*）

2、W 為油式機械泵，D 為干式機械泵

3、定制檢漏儀電磁閥

4、閥體

5、原裝晶圓放大器

6、采用質(zhì)譜模塊

7、液晶觸摸彩屏

8、雙燈絲（氧化釔金絲），自動調(diào)氦峰，自動切換