Alicat流量計(jì)與流量控制器是基于層流壓差式原理進(jìn)行測(cè)量的，內(nèi)置溫度、絕壓、差壓傳感器和多種氣體的粘度數(shù)據(jù)，切換到對(duì)應(yīng)的氣體模式后，可測(cè)量不同氣體的溫度、壓力、（工況）體積流量、（標(biāo)況）質(zhì)量流量和累計(jì)流量等多種參數(shù)。

Alicat流量計(jì)的傳感器典型響應(yīng)時(shí)間可快至10ms，測(cè)量范圍0.5%-F.S，部分型號(hào)測(cè)量下限可低至0.01%F.S。精度一般為±（0.8%Rdg+0.2%F.S.），部分型號(hào)可達(dá)到±（0.5%Rdg或0.1%F.S.）。

如果流量計(jì)或控制器很長(zhǎng)時(shí)間未校準(zhǔn)，你可能會(huì)擔(dān)心它的精度的問(wèn)題。我們建議將流量計(jì)或控制器寄回給Alicat售后服務(wù)中心進(jìn)行年度校準(zhǔn)，以保持較高的精度。當(dāng)然你也可以選擇其他方法檢驗(yàn)它的精度是否超差。

大部分客戶(hù)會(huì)將流量計(jì)返回給我們校準(zhǔn)，一部分客戶(hù)會(huì)將流量計(jì)送至計(jì)量院進(jìn)行精度鑒定，也有客戶(hù)將多個(gè)流量計(jì)串聯(lián)后進(jìn)行讀數(shù)對(duì)比。

無(wú)論采用哪種方式，其基本的方法都是將被檢流量計(jì)與另一個(gè)量程接近、精度更高、值得信任的參照流量計(jì)或流量控制器串聯(lián)，然后通入空氣或氮?dú)?，在量程范圍?nèi)控制不同流量大小，觀(guān)察兩個(gè)流量計(jì)的讀數(shù)是否一致。如果讀數(shù)很一致，說(shuō)明被檢流量計(jì)準(zhǔn)確性較高。

在對(duì)比過(guò)程中，如果你發(fā)現(xiàn)被檢流量計(jì)與參照流量計(jì)讀數(shù)有差異，也不必失望，因?yàn)橐灿锌赡苁瞧渌蛟斐蓛烧叩牧髁孔x數(shù)差異。你可以對(duì)照下面所列出的這些因素來(lái)檢查。

PART 1/ 參照流量計(jì)的選擇問(wèn)題

（1）參照流量計(jì)是否準(zhǔn)確，精度是否與被檢流量計(jì)同級(jí)或更高？建議使用精度更高的流量計(jì)作為參照標(biāo)準(zhǔn)。

（2）參照流量計(jì)近期是否有校準(zhǔn)過(guò)？不建議使用長(zhǎng)期未校準(zhǔn)的流量計(jì)作為參照標(biāo)準(zhǔn)。

（3）參照流量計(jì)是否與被檢流量計(jì)量程接近？參照流量計(jì)量程應(yīng)與被檢流量計(jì)接近，或略偏大。

（4）參照流量計(jì)測(cè)量原理是什么，測(cè)量結(jié)果是否為質(zhì)量流量？建議選擇質(zhì)量流量計(jì)作為參照流量計(jì)，或讀數(shù)可換算到標(biāo)況質(zhì)量流量的流量計(jì)。如果測(cè)量結(jié)果為工況體積流量，由于系統(tǒng)壓損和流量計(jì)本身壓損的原因，將不具有可對(duì)比性。

PART 2/ 管路連接問(wèn)題

（1）管路、連接件、螺紋接口是否漏氣？如果系統(tǒng)漏氣會(huì)導(dǎo)致兩個(gè)流量計(jì)讀數(shù)不一致。

（2）兩個(gè)流量計(jì)中間的管路是否太長(zhǎng)？應(yīng)盡可能縮短被檢流量計(jì)與參照流量計(jì)中間連接管路的長(zhǎng)度。

PART 3/ 參數(shù)設(shè)置問(wèn)題

（1）兩個(gè)流量計(jì)的STP或NTP標(biāo)況溫度、標(biāo)況壓力設(shè)置是否一致？?jī)烧弑仨氃O(shè)置為相同的標(biāo)況溫度與標(biāo)況壓力。

（2）測(cè)試前無(wú)氣流通過(guò)的時(shí)候是否有對(duì)流量計(jì)清零？如果無(wú)氣流的時(shí)候，流量讀數(shù)不為零，建議使用清零鍵TARE清零后再通氣測(cè)試。

PART 4/ 介質(zhì)氣體問(wèn)題

（1）兩個(gè)流量計(jì)的氣體類(lèi)型選擇是否一致？氣體模式與實(shí)際測(cè)試的氣體是否一致？必須保證兩者選擇的氣體模式與實(shí)際測(cè)試的氣體一致。

（2）測(cè)試氣體的溫度和壓力是否在兩個(gè)流量計(jì)的正常工作范圍內(nèi)，是否接近兩個(gè)流量計(jì)的校準(zhǔn)溫度和壓力？一般建議使用常溫、常壓的氣體進(jìn)行測(cè)試。溫度太低或太高，壓力太高，都可能造成額外的流量誤差。

（3）測(cè)試氣體是否干燥、純凈？如果氣體含較多水蒸氣、顆粒物、油煙、雜質(zhì)，都有可能造成額外的測(cè)量誤差。

PART 5/ 其他問(wèn)題

（1）數(shù)據(jù)記錄是否為標(biāo)況的質(zhì)量流量？將工況體積流量誤看作質(zhì)量流量也會(huì)導(dǎo)致兩者讀數(shù)偏差。質(zhì)量流量單位一般為SCCM, SLPM, NCCM, NLPM等。工況體積流量單位一般為CCM, LPM等。

（2）流量計(jì)的工作電源電壓是否為額定電壓？電壓偏低、偏高、不穩(wěn)都可能導(dǎo)致讀數(shù)偏差。

（3）如果流量測(cè)量信號(hào)使用模擬量信號(hào)，則應(yīng)排除系統(tǒng)對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾，信號(hào)干擾可能導(dǎo)致讀數(shù)結(jié)果偏差。

（4）測(cè)試過(guò)程中可觀(guān)察流量計(jì)的壓力、溫度或其他傳感器信號(hào)顯示是否正常，如果明顯異常可能導(dǎo)致流量讀數(shù)不準(zhǔn)。