大多數(shù)傳統(tǒng)的真空鍍膜工具使用下游壓力控制來維持真空氣體的壓力。

但是安裝節(jié)流閥可能要花費數(shù)千美元，還需要單獨的控制模塊來驅(qū)動閥門。節(jié)流閥設(shè)置在更換氣體或等待氣體沉淀時，也會造成延遲。

在燃燒室上游放置一個壓力控制器，采用速動比例控制閥，可以提供更快的響應(yīng)時間和更好的穩(wěn)定性。這也省去了額外的節(jié)流閥和控制模塊。

Alicat提供了這種選擇。

1、PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器

對于較大規(guī)?；騉EM項目，Alicat PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器能夠控制真空水平。

該系列產(chǎn)品用于高真空、需要外接儀表的場景。

PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器從傳感器獲取模擬信號，并使用比例閥提供閉環(huán)控制。

通過增加一個外部壓力傳感器，可以更精確地維持壓力，同時允許用戶獨立于真空鍍膜系統(tǒng)改變或調(diào)整氣體。

PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制可以為外部真空儀表提供電源，兼容所有的測量技術(shù)，包括離子、皮拉尼和冷陰極。

2、Alicat集成真空控制器(IVC)

對于沒有現(xiàn)有真空儀表的小型項目，Alicat集成真空控制器(IVC)是解決方案。

與PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制一樣，它省去了傳統(tǒng)節(jié)流閥壓力控制方法的體積、復(fù)雜性和費用。

IVC包括一個直接集成到設(shè)備中的真空傳感器，使其能夠直接控制真空壓力。這些傳感器能夠在低范圍內(nèi)高精度工作，低至10毫托。

IVC還包括直接來自設(shè)備的PID控制，以及一個氣動隔離傳感器。與市場上的其他解決方案相比，IVC可以確保更高的精度，具有精確的燃燒測量和氣體隔離。

在真空鍍膜應(yīng)用中，將壓力控制裝置置于真空鍍膜的上游，可以節(jié)省時間、成本，提高真空鍍膜工具的精度。