SF6雖無色五毒，但是大量泄露會使人呼吸困難甚至窒息，因此在工業(yè)作業(yè)的過程中對SF6泄露監(jiān)測就顯得尤為必要。在傳統(tǒng)的技術(shù)應(yīng)用中對SF6氣體的監(jiān)測方式包括氣壓表測量法和密度繼電器測量法，以及半導(dǎo)體測量法等，并且超聲波測量以及負電暈放電測量也是常見的SF6泄露監(jiān)測方法。

　　其中氣壓表測量主要是對氣體壓力打開測度，然后完成SF6是否存在蛻變問題完成判別。可是考慮到在溫度改變劇烈的環(huán)境中，SF6氣體壓力會隨之有所改變，因而此種方法只有在環(huán)境溫度改變不明顯的時候才干打開有效使用，而且無法完成相關(guān)數(shù)據(jù)的自動化獲取，其測定結(jié)果通常僅供參考。
 

　　而關(guān)于密度繼電器丈量而言，其機械特點本身決定了其抗震才能等方面均不盡善盡美，因而無法完成氣體微量走漏的測定。

　　半導(dǎo)體傳感器則以二氧化錫半導(dǎo)體作為電極，依據(jù)其強親氟化物的特征來完成關(guān)于空氣中氣體含量的測定。此種測定方法能夠完成較高精度，而且在本錢方面也占據(jù)極大優(yōu)勢，可是壽數(shù)相對有限，跟著壽數(shù)的延伸其誤報率有了明顯增高。

　　采用超聲波測速法打開關(guān)于SF6泄露監(jiān)測的測量，是根據(jù)超聲波傳播速度隨氣體摩爾質(zhì)量添加而改變這一特性。SF6氣體的摩爾質(zhì)量是空氣的五倍，因而當其發(fā)生走漏的時候，會導(dǎo)致周圍環(huán)境介質(zhì)摩爾質(zhì)量的明顯上升，然后完成關(guān)于其密封狀況的判別。此種工作方法雖穩(wěn)定且精度較高，因而難以完成大面積使用。

　　負電暈放電檢測設(shè)備通常置于電站開關(guān)柜內(nèi)，是當前比較常見的SF6泄露監(jiān)測設(shè)備，具有結(jié)構(gòu)簡單、可靠性高的特征，且成本控制相對較簡單，十分合適大范圍在線監(jiān)測?？墒谴朔N技術(shù)相對而言壽數(shù)較短，簡單造成誤報警問題的發(fā)生，可信度已經(jīng)成為阻礙其進一步深入使用的主要因素。