帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，往往對(duì)密封性要求嚴(yán)格。為了進(jìn)行帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線檢漏而進(jìn)行研究，分析可行的檢漏方法，提出適用手段。通過分析，經(jīng)過分級(jí)冷凍、物料處理及選用適合的檢漏步驟，能夠使氦質(zhì)譜檢漏儀滿足負(fù)壓檢漏條件，從而使用噴氦法確定漏點(diǎn)位置，使用氦罩法獲得準(zhǔn)確的漏率。實(shí)際應(yīng)用證明，該方法用于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線檢漏，能夠準(zhǔn)確、有效的檢測漏點(diǎn)位置及漏率。該研究為帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線檢漏提供了技術(shù)支持。 真空系統(tǒng)在使用過程中壓力出現(xiàn)異常增加，此時(shí)系統(tǒng)可能是出現(xiàn)了漏點(diǎn)，如果系統(tǒng)的漏點(diǎn)不及時(shí)判斷并消除，系統(tǒng)內(nèi)的空氣不斷積累，會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)無法正常使用。對(duì)于正在使用的帶有腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，要找到并消除漏點(diǎn)，通常步驟為：回收物料→清洗系統(tǒng)→抽空檢漏→消除漏點(diǎn)→供料并投入使用。步驟多、周期長，對(duì)于暫時(shí)無法回收物料的系統(tǒng)，則不適用。這時(shí)尋找一種適合不卸料情況下的在線檢漏方法極其重要，文章對(duì)此進(jìn)行研究。
一、真空系統(tǒng)常見檢漏方法分析
根據(jù)文獻(xiàn)，檢漏方法可以分為兩大類，即壓力檢漏法和真空檢漏法。對(duì)于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，通常為了防止物料外漏，內(nèi)部壓力通常小于一個(gè)大氣壓(105Pa)。因此檢漏方法上主要考慮真空檢漏法，表1列舉了常見的真空檢漏方法。
在選擇檢漏儀器和方法時(shí)，最重要的是能夠達(dá)到所要求的檢漏靈敏度，其次還要考慮示漏物質(zhì)在空氣中的含量以及示漏氣體的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)，如濃度、擴(kuò)散率、分層、堵塞、易燃易爆、腐蝕、有毒有害等，同時(shí)由于腐蝕性物料通常為酸、堿等物質(zhì)，示漏氣體還應(yīng)考慮與物料的反應(yīng)。對(duì)于帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)，一般總漏率要求小于10-6Pa·m3/s，系統(tǒng)壓力為低真空(102～105Pa)。
二、帶腐蝕性物料真空系統(tǒng)檢漏的非常規(guī)方法分析
經(jīng)過查閱文獻(xiàn)及檢漏過程中的總結(jié)，得到一些適用于帶腐蝕性物料的非常規(guī)檢漏方法，主要包括緊固部件法、臨時(shí)密封法、負(fù)壓采樣法等。
2.1、緊固部件法
該方法適用于連接件松動(dòng)造成的漏點(diǎn)。如經(jīng)過冷熱沖擊造成的連接件松動(dòng)。
這種方法通過對(duì)系統(tǒng)連接部位逐一檢查，對(duì)發(fā)現(xiàn)松動(dòng)處進(jìn)行緊固，同時(shí)觀測真空參數(shù)進(jìn)行漏點(diǎn)檢測。如果經(jīng)過緊固真空指標(biāo)好轉(zhuǎn)，證明該處為漏點(diǎn)，消除的漏率可以用公式(1)估算。
式中：ΔQ 為消除的漏率（Pa·m3/s）；ΔP0 為消漏前時(shí)間內(nèi)封閉真空系統(tǒng)的壓力上漲量（Pa）；ΔP1 為消漏后時(shí)間內(nèi)封閉真空系統(tǒng)的壓力上漲量（Pa）；V為封閉真空系統(tǒng)的總?cè)莘e（m3）；t 為時(shí)間（s）。使用這種方法必須找到松動(dòng)部位，對(duì)于連接口繁多的系統(tǒng)工作量大，同時(shí)如果漏點(diǎn)不是由于連接件松動(dòng)造成，則無法找到并消除。
2.2、臨時(shí)密封法
如果漏點(diǎn)是系統(tǒng)腐蝕等原因造成的漏孔，同時(shí)通過分段測量壓力等方法發(fā)現(xiàn)了可疑部位，可在懷疑有漏部位涂抹酒精或使用真空封泥實(shí)現(xiàn)臨時(shí)密封，如果真空參數(shù)好轉(zhuǎn)，可以判定該部位是漏點(diǎn)，判斷出漏點(diǎn)后便可以進(jìn)行消除，消除的漏率同樣可用公式(1)估算。使用這種方法必須知道可能的漏點(diǎn)部位，有針對(duì)性的操作。并且酒精易揮發(fā)，必須在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)。真空封泥不易清除，可能堵塞漏點(diǎn)無法判斷漏點(diǎn)具體位置并消除，為以后系統(tǒng)使用造成隱患。
2.3、負(fù)壓采樣法
帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)如果帶有尾氣泵，可以在尾氣泵排氣口放置帶吸槍的檢漏儀，啟動(dòng)尾氣泵并對(duì)真空系統(tǒng)噴氦，再由吸槍捕捉氦氣。這種方法優(yōu)點(diǎn)是可判斷以上兩種原因造成的漏點(diǎn)，缺點(diǎn)是吸槍易被水氣與油污污染，吸嘴法檢漏靈敏度較低、誤差大。
以上列舉了常見的三種非常規(guī)方法，其檢漏方法有一定局限性，因此解決該類的問題，需要尋找更適合的靈敏度更高、誤差更小的檢漏方法。
三、結(jié)論
文章研究了帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)的檢漏方法，分析了相關(guān)方法，并提出使用適合的檢漏方法和步驟，能夠使氦質(zhì)譜檢漏儀滿足檢漏條件，采用氦質(zhì)譜檢漏噴吹法找到漏點(diǎn)位置，利用氦罩累積法判斷出較為準(zhǔn)確的漏率。在實(shí)際工作中運(yùn)用這種方法，解決了內(nèi)部帶腐蝕性物料的真空系統(tǒng)在線檢漏問題，為該類問題提供了技術(shù)上的參考。
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