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閱讀：1520發(fā)布時(shí)間：2022-6-24
氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)的基準(zhǔn)是標(biāo)準(zhǔn)漏孔，標(biāo)準(zhǔn)漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內(nèi)部提供已知?dú)怏w流量的元件。一般要明確這個(gè)氣流量（即漏率）的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明，則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣（其露點(diǎn)溫度低于248K）的漏率。
1.玻璃毛細(xì)管型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（圖中a）是用局部拉細(xì)的玻璃毛細(xì)管制成的，漏率為10-8~10-7Pam3/s。
2.金屬壓扁型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（圖中b）通常是用無(wú)氧銅或可伐管壓制而成，漏率為10-8~10-6Pam3/s。
3.玻璃鉑絲型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（圖中c）是利用玻璃與鉑絲的不匹配封接制成的。當(dāng)鉑絲直徑為0.1~0.5mm；封接長(zhǎng)度為5~10mm時(shí)，漏率約為10-7Pam3/s。當(dāng)溫度改變時(shí)，其漏率變化。若296K的漏率為qL、296，則溫度T時(shí)的漏率為式（8）。式中f（T）的曲線如圖11所示。
4.薄膜滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（圖中d）是利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，其漏率一般為10-5~10-9Pam3/s。由于溫度對(duì)漏率的影響很大，使用時(shí)應(yīng)當(dāng)注意修正。如果溫度T1時(shí)漏孔漏率為qL、T1，使用溫度T2時(shí)的漏率應(yīng)為式（9）。式中，E-氦在石英中的滲透激活能；R-摩爾氣體常數(shù)。
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