闡述了氦質(zhì)譜背壓檢漏的特點(diǎn)及目前存在的問題, 在此基礎(chǔ)上提出了改進(jìn)建議。深入探討了預(yù)充氦背壓法測得的測量漏率與等效標(biāo)準(zhǔn)漏率的關(guān)系, 指出預(yù)充氦背壓法可用于檢測壓氦背壓法檢測不到的小漏孔, 給出了等效標(biāo)準(zhǔn)漏率對(duì)測量漏率具有的雙值均在分子流范圍時(shí)的鑒別方法。 D. A. Howl 和C. A.Mann[1965 年在Vacuum 雜志上發(fā)表背壓檢漏技術(shù) 一文, 采用壓氦( by bombing) 處理后用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏的技術(shù)解決了密閉器件分子流漏孔檢測的基本理論問題。在此基礎(chǔ)上, 美國試驗(yàn)與材料學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)ASTM E 493 及我國航天行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)QJ 3212 又增加了預(yù)充氦( by prefilling )處理法, 并統(tǒng)稱為氦質(zhì)譜儀背壓檢漏方法( Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside
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