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Transpector MPH 殘余氣體分析儀-在線氣體分析儀|在線氣體檢測儀

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更新時間：2019-08-05 10:51:21瀏覽次數(shù)：3019次

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上海樂務電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是

Transpector MPH 殘余氣體分析儀
持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector

詳細介紹

Transpector MPH 殘余氣體分析儀

監(jiān)控您的過程

的性能有助于提高產(chǎn)量并實現(xiàn)長運行時間

持續(xù)升高的硅晶圓價格和成品需求意味著損壞晶圓的代價比以前更高。因此，在半導體制造中心了解過程并監(jiān)測缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統(tǒng)專門用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應用中都實現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于大限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長故障平均間隔時間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。

INFICON Transpector MPH 殘余氣體分析儀
發(fā)揮其在氣體分析過程控制設備領域的專長，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、低可檢測分壓和小的信噪比。所有這些特性都不會犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。

功能

· 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點數(shù)據(jù)率

· TCP/IP 以太網(wǎng)連接

· 雙絲極

· 可現(xiàn)場更換電子倍增器

· 組合陽極、陰極和反射極絲極套件

· 較短的傳感器可降低安裝占地面積

· 九個數(shù)量級的動態(tài)量程

· <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號)

· 信噪比更高

· 可調(diào)換傳感器和電子元件

· 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測試并進行雙層包裝