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上海赫哲真空設(shè)備有限公司


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EH500 機(jī)械增壓泵 羅茨真空泵

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產(chǎn)品型號(hào)EH500

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海

聯(lián)系方式:成小蘭查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-07-21 15:22:07瀏覽次數(shù):119次

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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:672條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:成小蘭 (助理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Edwards EH 機(jī)械增壓泵采用的液力驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)高效的動(dòng)力傳送,在性、性能和緊湊性方面優(yōu)勢(shì)。這些增壓泵適用于高壓力差的場(chǎng)合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級(jí)泵同時(shí)啟動(dòng),從而減少總體抽氣時(shí)間。

詳細(xì)介紹

EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度。


應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光


功能和優(yōu)勢(shì)

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過(guò) 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。

它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供:

安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

的軸封,處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。

經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到低。

軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是設(shè)備的制造商所需要的。


數(shù)據(jù)

EH500

排量(工作容積)

505 m3h-1 / 300 ft3min-1

使用前級(jí)泵時(shí)的抽速

350 m3h-1 / 206 ft3min-1

泵的壓力差

0-110 mbar/0-83 Torr

進(jìn)氣口連接

ISO100

連接

ISO63

轉(zhuǎn)速

0-2900 rpm

連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力

0-1000 mbar/0-760 Torr

大壓力

1000 mbar/760 Torr

的前級(jí)泵

GV80,E2M80

電機(jī)功率

碳?xì)浠衔?/span>

2.2 kW/3 hp

PFPE

1.5 kW/2 hp

ATEX

2.2 kW

防爆

3 hp

環(huán)境溫度范圍

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

存儲(chǔ)

-10 至 80°C/14 至 176°F

大工作濕度

90% RH

用油

Ultragrade 20

油容量

齒輪箱

聯(lián)軸器蓋

1.5 l/1.6 qt

軸封儲(chǔ)油器

0.125 l/0.25 qt

重量

74 kg/163 lb

關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)
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