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EH2600 液力偶合羅茨真空泵

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產品型號EH2600

品牌

廠商性質經銷商

所在地上海

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更新時間：2022-07-21 15:24:34瀏覽次數：90次

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上海赫哲真空設備有限公司

經營模式：經銷商

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所在地區(qū)：上海上海市

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產品簡介

Edwards EH 機械增壓泵采用的液力驅動，可實現(xiàn)高效的動力傳送，在性、性能和緊湊性方面優(yōu)勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動，從而減少總體抽氣時間。

詳細介紹

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO₂ 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且防腐蝕。

的軸封，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

軸封的設計經過優(yōu)化，可潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉子和研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是設備的制造商所需要的。

數據