上海赫哲真空設(shè)備有限公司
上海赫哲真空設(shè)備有限公司
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號EH2600
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地上海
聯(lián)系方式：成小蘭查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-07-21 15:24:34瀏覽次數(shù)：90次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)Edwards EH 機械增壓泵采用的液力驅(qū)動，可實現(xiàn)高效的動力傳送，在性、性能和緊湊性方面優(yōu)勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動，從而減少總體抽氣時間。
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。
EH 泵具有的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
的軸封，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是設(shè)備的制造商所需要的。
數(shù)據(jù)
| EH2600 |
排量（工作容積） | 2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 |
使用前級泵時的抽速 | 1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 |
泵的壓力差 | 0-80 mbar/0-60 Torr |
進氣口連接 | ISO160 |
連接 | ISO100 |
轉(zhuǎn)速 | 0-2900 rpm |
連續(xù)進氣口工作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
大壓力 | 1000 mbar/760 Torr |
的前級泵 | GV250、GV400、 E2M175、E2M275 |
電機功率 |
|
碳氫化合物 | 11 kW/15 hp |
PFPE | 7.5 kW/10 hp |
ATEX | 11 kW |
防爆 | 15 hp |
環(huán)境溫度范圍 |
|
工作 | 5 至 40°C/40 至 104°F |
存儲 | -10 至 80°C/14 至 176°F |
大工作濕度 | 90% RH |
用油 | Ultragrade 20 |
油容量 |
|
齒輪箱 | 3.5 l/3.3 qt |
聯(lián)軸器蓋 | 6.5 l/7 qt |
軸封儲油器 | 1.5 l/1.4 qt |
重量 | 308 kg/679 lb |
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