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STP301 真空渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號STP301

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地上海

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更新時間：2022-07-23 15:41:29瀏覽次數(shù)：127次

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上海赫哲真空設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：672條

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聯(lián)系人：成小蘭（助理）

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產(chǎn)品簡介

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學儀器、半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

詳細介紹

概述

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子可實現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學儀器、半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了。

此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。

如需完整安裝，請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。

應(yīng)用

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負載鎖真空腔
科學儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢

的轉(zhuǎn)子

大的制程靈活性
無油
低振動
高度
免維護

的控制器設(shè)計

自動調(diào)整
自行診斷功能
直流電機驅(qū)動
無電池運行

緊湊型設(shè)計

占地面積小
半機架控制器

技術(shù)データ

入口法蘭	ISO100，CF100
	KF25
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
壓縮比
N2	>108
H2	>2 x 104
加熱時的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
加熱時的極限壓力（ICF 法蘭）	10-8 Pa (10-10 Torr)
大允許進氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
大連續(xù)壓力（環(huán)境空氣冷卻）	13 Pa (0.1 Torr)
額定速度	48000 rpm
啟動時間	3 min
高入口法蘭溫度	120 °C
輸入電壓	100 至 120 (± 10%) V 交流或
	200 至 240 (± 10%) V 交流
啟動時的功耗	0.55 kVA
泵重量	11 kg
控制器重量	7 kg