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STP-iXA3306 真空磁懸浮渦輪分子泵

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產(chǎn)品型號(hào)STP-iXA3306

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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

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更新時(shí)間：2022-07-23 15:49:34瀏覽次數(shù)：233次

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上海赫哲真空設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。

詳細(xì)介紹

製品概要

STP-iXA3306 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)的性能，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（成熟的 STPiXA3305 系列的新）。
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于 STP-iXA3305 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。這一集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為應(yīng)用工具的一體化解決方案。

用途

金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送和站

特性與優(yōu)勢(shì)

緊湊型設(shè)計(jì)，包括集成的控制器
性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程

數(shù)據(jù)

入口法蘭尺寸	ISO250F / VG250 / ICF305
前級(jí)抽氣口尺寸	KF40
抽速 N2	2650 ls-1
抽速 Ar	2300 ls-1
壓縮比 N2/H2	>108 / 2 x 103
極限壓力	10-7 Pa (10-9 Torr)
允許的前級(jí)壓力	266 Pa (2 Torr)
大氣流 N2 （僅水冷）	4000 sccm
	(6.76 Pam3s-1)
大氣流 Ar （僅水冷）	2100 sccm
	(3.55 Pam3s-1)
額定速度	27700 rpm
啟動(dòng)時(shí)間	<10 分鐘
固定位置	任何方向
輸入電壓	200-240 V
大輸入功率（不帶 TMS）	1500 VA
大輸入功率（帶 TMS）	1800 VA
重量	80 kg