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SIPV25P，氣動(dòng)真空軟啟動(dòng)閥，密封式波紋管，鋁制閥體

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

這類(lèi)閥是軟啟動(dòng)的氣動(dòng)操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。隨動(dòng)閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進(jìn)行，以盡可能減少干擾。隨動(dòng)閥和主閥都需要單獨(dú)的氣動(dòng)連接。

詳細(xì)介紹

概述

這類(lèi)閥是軟啟動(dòng)的氣動(dòng)操作管線閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會(huì)導(dǎo)致微粒污染問(wèn)題的制程提供受控的制程抽氣。

隨動(dòng)閥和主閥的組合使得初始泵送可以緩慢進(jìn)行，以盡可能減少干擾。隨動(dòng)閥和主閥都需要單獨(dú)的氣動(dòng)連接。

應(yīng)用

當(dāng)隨動(dòng)閥打開(kāi)時(shí)，氣流以較低流速在閥的兩側(cè)間流過(guò)可更換孔板，實(shí)現(xiàn)慢抽速。達(dá)到用戶的預(yù)定義壓力級(jí)別后，主閥門(mén)會(huì)根據(jù)用戶提供的信號(hào)打開(kāi)，實(shí)現(xiàn)全通徑泵送。
波紋管密封的閥門(mén)單向執(zhí)行，采用氣動(dòng)打開(kāi)，彈簧封閉。產(chǎn)品隨附三個(gè)可更換孔板，以使泵的性能符合您的制程需要。標(biāo)準(zhǔn)配置中包含一個(gè)微開(kāi)關(guān)，用于指示閥門(mén)狀態(tài)。閥門(mén)和微開(kāi)關(guān)都可以加熱到 100°C 以加速脫氣，防止制程氣體在閥門(mén)內(nèi)冷凝。
盡管閥門(mén)主要設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體行業(yè)，但也可以用在其他需要受控抽氣的應(yīng)用中。

功能和優(yōu)勢(shì)

平均*時(shí)間可達(dá) 5000000 個(gè)循環(huán)
抽氣受控制以適合相關(guān)制程
鋁閥體
在斷電時(shí)閥可以快速反應(yīng)
供貨時(shí)帶有 5 mm、6 mm 和 7 mm 可更換孔板
采用波紋管密封以清潔操作
孔板可更換，維護(hù)方便
可加熱到 100 °C 以防制程氣體冷凝

數(shù)據(jù)

閥門(mén)執(zhí)行類(lèi)型	單向執(zhí)行，氣動(dòng)打開(kāi)，彈簧關(guān)閉
壓力范圍	1 x 10-9 至 2100 mbar
	8 x 10-10 至 1575 Torr
大壓力差
打開(kāi)	1000 mbar/750 Torr
關(guān)閉	2100 mbar/1575 Torr
泄漏值	10-9 mbar ls- 1
	10-10 Torr ls- 1
氣動(dòng)連接器	Rp 1/8（1/8 英寸 BSP）
氣動(dòng)工作壓力	2.8 至 4.2 bar/41 至 61 psi
電氣指示器	單個(gè)微開(kāi)關(guān)
微開(kāi)關(guān)電氣額定值	24 V，1.5 A 交流或直流
大循環(huán)頻率	900 h-1
波紋管性，MTTF	5000000 循環(huán)
工作環(huán)境溫度	5 - 100 °C
高加熱溫度	100 °C
構(gòu)造材料	HE30TF 鋁
O 型圈	氟橡膠
4 bar 時(shí)的打開(kāi)/關(guān)閉時(shí)間 (ms)	SIPV25P
隨動(dòng)閥	60/20
主閥	15/41
重量 (g/oz)
SIPV25P	920 / 32

配有可選控制閥

關(guān)鍵詞：軟啟動(dòng) 標(biāo)準(zhǔn) 連接器指示器控制閥

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