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上海赫哲真空設(shè)備有限公司


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BGV 氣動(dòng)真空插板閥 NW50

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產(chǎn)品型號(hào)B90003105

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海

聯(lián)系方式：成小蘭查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-31 16:02:27瀏覽次數(shù)：113次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：672條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：成小蘭 （助理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的，可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥

詳細(xì)介紹

概述

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成，用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的，可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行，從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar（）(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力，并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。

雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵，但這些閥也適用于開(kāi)啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。

功能和優(yōu)勢(shì)
  • 與密封 VAT 合作。
  • 不銹鋼結(jié)構(gòu)，采用獲得的設(shè)計(jì)，使用
  • 簡(jiǎn)單的無(wú)油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
  • 可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行，因此無(wú)需進(jìn)行壓力平衡
  • 維修方便，只需要的易耗品，低運(yùn)行成本
  • 表面光滑，易于清潔
  • 提供時(shí)已安裝螺線管和電線，便于訂購(gòu)和安裝
  • 即插即用，在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容。

數(shù)據(jù)
泄漏值
  殼體< 1 x 10-9 mbar ls-1
  閥座< 1 x 10-7 mbar ls-1
壓力范圍1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的壓差1.2 bar（在任一方向上）
打開(kāi)時(shí)的壓差1 bar
**檢修前的循環(huán)數(shù)5, 000
高工作溫度
  閥體120 °C
  手動(dòng)執(zhí)行器80 °C
  氣動(dòng)執(zhí)行器80 °C
  位置指示器60 °C
  螺線管閥50 °C
分子流電導(dǎo)
  NW50300 ls-1
  ISO63400 ls-1
  ISO801100 ls-1
  ISO1001700 ls-1
  ISO1604600 ls-1
重量
  NW503.3 kg (7.3 lbs)
  ISO636.6 kg (14.6 lbs)
  ISO807.0 kg (15.4 lbs)
  ISO1008.5 kg (18.7 lbs)
  ISO16017.7 kg (39.0 lbs)
構(gòu)造材料：
  殼體AISI 304 不銹鋼
  閥蓋黑色陽(yáng)極化鋁
  插板AISI 304 不銹鋼
  助滑器PEEK
  波紋管AISI 633 不銹鋼
  密封件氟橡膠
  插板固定螺釘A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜
  手柄強(qiáng)化聚酰胺
氣動(dòng)閥
螺線管閥額定值
  標(biāo)準(zhǔn)螺線管閥24V - 15%/+ 10%，直流/交流，2.4 W
位置指示器觸點(diǎn)額定值12 - 30 V 直流/交流，大 500 mA，大 10 W
氣動(dòng)供氣
  供應(yīng)壓力58 psig（4 bar 壓力表壓力，5 bar 壓力，5 x 105 Pa）
  大供應(yīng)壓力100 psig（7 bar 壓力表壓力，8 bar 壓力，8 x 105 Pa）
氣動(dòng)接頭R1/8 英寸（閥的 1/8 英寸 NPT 在訂購(gòu)）


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