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超高真空超低溫四探針SPM

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更新時間：2021-08-16 15:53:34瀏覽次數(shù)：147次

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這超高真空超低溫四探針SPM是超高真空室內(nèi)應(yīng)用設(shè)計的UHV極低溫多探針掃描探針顯微鏡，得益于多探針SPM優(yōu)異性能,這款產(chǎn)品可用于納米技術(shù)

詳細(xì)介紹

這超高真空超低溫四探針SPM是超高真空室內(nèi)應(yīng)用設(shè)計的UHV極低溫多探針掃描探針顯微鏡，得益于多探針SPM優(yōu)異性能,這款產(chǎn)品可用于納米技術(shù)。
這超高真空超低溫四探針SPM采用四個獨立控制的探針掃描顯微鏡，用于器件評價和超低溫等寬溫度范圍內(nèi)的微納尺度表面電導(dǎo)率測量。
超高真空超低溫四探針特征
利用SEM實現(xiàn)納米級定位
每四個探針都有STM/AFM功能
納米尺度四端電導(dǎo)測量
分子束外延超高真空室
準(zhǔn)備好進(jìn)行光輻照、發(fā)射測量、高頻測量
孔效應(yīng)，自旋測量適用于使用超導(dǎo)線圈（可選）

超高真空超低溫四探針SPM應(yīng)用
用微納米尺度測量導(dǎo)電薄膜的四端電阻率
納米結(jié)構(gòu)和納米點的電導(dǎo)率測量
有機(jī)導(dǎo)電層和半導(dǎo)體電導(dǎo)率的溫度依賴性測量
納米器件的局部電特性分析
不同溫度下的STM成像
廣泛應(yīng)用于表面分析
超高真空超低溫四探針SPM規(guī)格參數(shù)
分辨率: XY<2pm, Z<0.2pm
磁場：無
高真空：<10^-8Pa
超低溫：3-100K可調(diào)溫度
STM: 可選配
其它：可以配備安裝透鏡，用于連接其它光學(xué)儀器

	四探針STM頭
掃描范圍 (X×Y×Z)	0.38 × 0.38 × 0.38 µm³ @ 5 K
最小分辨率（STM)	X, Y: 0.1 nm (Atomic resolution) Z: Under 0.02 nm
樣品和探針臺	MAX range X, Y: 5 mm; Z: 3 mm
	FE-SEM
最小分辨率	20 nm (acceleration voltage 25 kV, WD 15 mm, probe current 1 nA) MAX field of view 3 mm × 3 mm (acceleration voltage 5 kV)

關(guān)鍵詞：顯微鏡光學(xué)儀器

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