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孚光精儀（中國(guó)）有限公司


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電子束-電阻熱蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)FPTOR-EB4P

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-03-30 11:23:25瀏覽次數(shù)：126次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1482條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：陳小姐 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電子束-電阻熱蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)集合了電子束沉積鍍膜和電阻式熱蒸發(fā)鍍膜沉積功能

詳細(xì)介紹

電子束-電阻熱蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)集合了電子束沉積鍍膜和電阻式熱蒸發(fā)鍍膜沉積功能,
電子束-電阻熱蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)特點(diǎn)
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動(dòng)快門的前門上的4“直徑觀察口
帶水冷坩堝的單/多槽電子束源（4cc至75cc）
帶X-Y掃描控制器的高壓電源（3kW至15kW）
匹配雙級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的全量程真空計(jì)
兩個(gè)帶獨(dú)立百葉窗的電阻熱源
PLC控制系統(tǒng)
電子束-電阻熱蒸發(fā)復(fù)合鍍膜系統(tǒng)可選配項(xiàng)目
冷水機(jī)
具有樣本傳輸適應(yīng)性的負(fù)載鎖定系統(tǒng)
多軸基板臺(tái)旋轉(zhuǎn)
石英燈加熱器（從300°C到800°C）
行星基臺(tái)
PC控制系統(tǒng)
水冷基板級(jí)
SQC 310膜厚監(jiān)測(cè)器和沉積控制器
電動(dòng)快門組件
大容量坩堝及電源
干式渦旋泵
低溫泵送系統(tǒng)
冷陰極或熱陰極電離計(jì)
可調(diào)尺寸和高度，適用于基板平臺(tái)
用于未來升級(jí)的額外備用法蘭
帶數(shù)字讀數(shù)的質(zhì)量流量控制器
射頻清洗能力
現(xiàn)場(chǎng)掩模變換器


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