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孚光精儀（中國）有限公司


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臺式薄膜沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號FPKOR-HEX

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：陳小姐查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-06-15 10:28:26瀏覽次數(shù)：415次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1482條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：陳小姐 （銷售）

產(chǎn)品簡介

臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實(shí)施應(yīng)用提供了多種沉積選項(xiàng)

詳細(xì)介紹

臺式薄膜沉積系統(tǒng)為是模塊化的PVD系統(tǒng),為您的研究和實(shí)施應(yīng)用提供了多種沉積選項(xiàng)?？裳b配電子束蒸發(fā)源E-beam,ORCA低溫蒸發(fā)源,熱蒸發(fā)源,磁控濺射等。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)是研究和開發(fā)的理想選擇，因?yàn)樗哂心K化的特性。所有基本元件都可以訪問，允許對各種組件進(jìn)行測試，并對幾種薄膜沉積技術(shù)中涉及的工藝進(jìn)行探索，包括：表面分析樣品制備，濺射，熱蒸發(fā)，有機(jī)物理氣相沉積等
基本型號中支持的方法包括：金屬和光刻膠剝離工藝，EM樣品制備，新型涂料研發(fā)，磁控濺射沉積優(yōu)化
用戶可購買基本型號，在必要時升級到更高級別的組件，這些升級是模塊化的，安裝簡單，減少了系統(tǒng)停機(jī)時間和安裝成本。

臺式薄膜沉積系統(tǒng)配有一個80升/秒的泵，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)8×10^-7毫巴的基本真空，并可實(shí)現(xiàn)高至100毫米的樣品尺寸。該系統(tǒng)還配有一個多樣品支架，可同時容納幾個較小的樣品。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)可升級300升/秒的泵，可實(shí)現(xiàn)4×10^-7毫巴的基本真空。用戶也可以選擇一個較大的HEX-L室，其空間可容納多達(dá)150毫米的樣本，或多個較小的樣本。
臺式薄膜沉積系統(tǒng)由一個六面鋁框架高真空室組成，該室重量輕，但足夠堅(jiān)固，適用于大多數(shù)物理氣相沉積應(yīng)用。六邊形結(jié)構(gòu)支撐六塊模塊化面板，包括：
空白面板，“視口”面板，沉積源面板，PLD儀表過程控制面板，包括質(zhì)量流量控制器和厚度控制，用于現(xiàn)場監(jiān)測的QCM面板
該設(shè)計使用標(biāo)準(zhǔn)化配件，包括用于氣體和水連接的Hamlet快速接頭，以及用于樣品臺和部件附件的蝶形螺母。這種標(biāo)準(zhǔn)化使切換面板和根據(jù)特定應(yīng)用調(diào)整系統(tǒng)變得簡單。模塊化設(shè)計還使維護(hù)和重新配置更快、更高效。


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