上海京燦精密機(jī)械有限公司
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閱讀：10發(fā)布時(shí)間：2026-6-23
客戶類型： 半導(dǎo)體工廠用高純度特殊氣體柜的制造商
行業(yè)： 半導(dǎo)體
應(yīng)用： 監(jiān)測(cè)高純度特種氣體柜中的壓力
解決方案： Druck的UNIK 1000可配置模塊化德魯克壓力傳感器
德魯克的客戶位于中國(guó)，是一家的高科技創(chuàng)新公司，專門從事高純度特種氣體柜的開發(fā)和制造。
高純度專用氣體柜廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線，可為高純度保護(hù)氣體提供精確的壓力和流量控制。所需的壓力控制精度需要大于0.25％FS，并且氣壓范圍可以從14.696psiG至?1000psiG的低水平變化到1000psiG至?3000psiG的高水平。
根據(jù)氣體控制路徑的設(shè)計(jì)，安裝在高純度特殊氣體柜中的傳感器數(shù)量可以從5到10不等。由于半導(dǎo)體加工技術(shù)的特殊性，傳感器需要滿足純度高于99.999％的系統(tǒng)的高純度規(guī)格，并且具有集成設(shè)計(jì)的防腐蝕和防泄漏功能。
為了提高安裝系統(tǒng)的密封效果，Druck的客戶要求傳感器脫脂，無油并配備特殊的VCR壓力連接器，該連接器在半導(dǎo)體行業(yè)中通常使用。
Druck團(tuán)隊(duì)與客戶建立了緊密的合作關(guān)系，并推出了UNIK 1000壓力傳感器。經(jīng)過廣泛的鑒定和驗(yàn)收測(cè)試，客戶對(duì)UNIK 1000壓力傳感器的高精度，長(zhǎng)期穩(wěn)定性和低成本感到非常滿意。
Druck開發(fā)了特殊的VCR壓力接頭，根據(jù)行業(yè)規(guī)范，該接頭可承受高達(dá)6,000 psi的壓力。還為傳感器的制造過程開發(fā)了清潔制度，以確保滿足客戶的無油要求。
Druck的UNIK 1000壓力變送器是成功的UNIK 5000可配置模塊化壓力傳感器的衍生產(chǎn)品。在這種情況下，定制的VCR壓力連接器使客戶能夠準(zhǔn)確方便地監(jiān)控位于高純度特殊氣體柜中的氣體管道中的壓力。
此外，考慮到在傳感器的制造過程中已進(jìn)行了脫脂和無油處理，可以根據(jù)客戶對(duì)高純度條件的要求使用Druck的UNIK 1000壓力傳感器。
本地化生產(chǎn)，較短的產(chǎn)品交付周期，出色的定制能力以及的國(guó)內(nèi)技術(shù)支持幫助客戶降低了運(yùn)營(yíng)成本，從而促進(jìn)了業(yè)務(wù)增長(zhǎng)。
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