芯片光刻機上用的除塵設備

上海今鈞機電工程有限公司

我們上海今鈞機電是一家集機、電、軟件于一體的技術型企業(yè)，我們公司致力于自動化表面清潔技術、靜電消除技術，解決生產過程中產生的灰塵顆粒木屑雜物等，是一家能夠擁有銷售、設計以及生產管理的綜合技術服務型企業(yè)。公司在 申有多項技術產權。

公司有行業(yè)經驗豐富的技術人才團隊，可以為國內各行企業(yè)提供行業(yè)設備及系統服務工程。

詳情介紹

芯片光刻機是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。制造高精度的對準系統需要具有近乎完美的精密機械工藝。

的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種，分辨率通常5納米至幾微米之間。光刻機堪稱現代光學工業(yè)之花，其制造難度之大，*只有少數幾家公司能夠制造。這也是國產光刻機*的技術難點之一。

影響光刻機精度的原因有很多，比如間隙零件精度都有很大關系，其中容易被忽略的一個原因還有光刻機表面清潔原因，光刻機上有切割掉的碎屑或灰塵都會影響芯片切割的精度,所以光刻機上面需要增加除塵設備來保證切割的精度！

芯片光刻機上用的除塵設備介紹

此設備是上海今鈞設計研發(fā)的一款可以安裝在光刻機上的除塵設備，我公司與國內多家半導體公司有合作經驗，成功在多種規(guī)格的光刻機上得到應用，受到客戶*。我公司常用兩種除塵設備應用于光刻機上下面簡單介紹一下。

種：毛刷清潔靜電消除吸塵設備，此設備的工作原理為靜電棒消除靜電減少靜電吸附力，毛刷清潔刷除灰塵和顆粒，再經過高負壓工業(yè)吸塵機把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

第二種：強吹靜電除塵設備：此設備工作原理為先靜電消除再通過高速旋轉噴頭把灰塵顆粒吹除并揚起，再使用高負壓工業(yè)吸塵機把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

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