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性能特點(diǎn)

l 用途

1）40系列為型FPD檢查顯微鏡，專為L(zhǎng)CD行業(yè) / TFT玻璃 / COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查

2）40系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查

l 特點(diǎn)

1）40系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美

2）40系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源

3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察

技術(shù)參數(shù) （以下參數(shù)根據(jù)客戶實(shí)際需求配置）

配置	參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng)	無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方法	明場(chǎng) / 斜照明 / 偏振光 / DIC
觀察筒	30°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50：50
目鏡	PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡
轉(zhuǎn) 換器	5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽
物鏡	無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm
	無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm
	無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm
	無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm
	無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出
載物臺(tái)	4寸雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程105X105mm，帶金屬平板平臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪 6寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，行程158X158mm，玻璃工作臺(tái)，右手位X、Y移動(dòng)手輪，帶離合器手柄，可快速移動(dòng)（選配）另可選配：8寸移動(dòng)平臺(tái)
照明系統(tǒng)	反射：帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；透射：?jiǎn)晤w大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌可選配鹵素光源照明
偏光附件	檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路
CTV接口	1X、1/2X

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