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閱讀：4323發(fā)布時(shí)間：2021-10-14
導(dǎo)讀：臺(tái)階儀又稱薄膜測(cè)厚儀或段差分析儀，是一種接觸式精密量測(cè)儀器，主要用來測(cè)量微米甚至納米級(jí)別的微觀尺寸。面板、光伏、半導(dǎo)體、機(jī)械加工等很多產(chǎn)業(yè)都使用臺(tái)階儀，因此臺(tái)階儀也稱膜厚儀、薄膜測(cè)厚儀和段差分析儀。本文主要介紹臺(tái)階儀的工作原理和常用領(lǐng)域。
簡(jiǎn)單來講，臺(tái)階儀的工作原理是：臺(tái)階儀的測(cè)針以十分微小的力輕輕劃過樣品表面，樣品表面微米甚至納米級(jí)別的高低起伏通過與測(cè)針連接的傳感器得到千百萬倍的放大，然后被轉(zhuǎn)換成電子信號(hào)，輸入到電腦軟件中，最終以數(shù)字和圖形的數(shù)據(jù)形式展現(xiàn)出來，供技術(shù)人員查看。
那么，為什么叫臺(tái)階儀？為什么還有膜厚儀、薄膜測(cè)厚儀和段差分析儀等其他名字？這是因?yàn)榕_(tái)階儀的應(yīng)用產(chǎn)業(yè)不同。面板、光伏、半導(dǎo)體和機(jī)械加工產(chǎn)業(yè)中，測(cè)量樣品不同，測(cè)量對(duì)象也不一樣，叫法也有區(qū)別。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的芯片，和其他產(chǎn)業(yè)的一些產(chǎn)品，表面往往有形狀不一的凸起（例如電路或電極），它們的高度是有限制的，不然就會(huì)影響芯片的性能，例如導(dǎo)電和通訊能力。使用儀器測(cè)量之后，結(jié)果往往像隨處可見的臺(tái)階一樣，因此測(cè)量他們的儀器也叫臺(tái)階儀。
面板產(chǎn)業(yè)制作的液晶屏幕，例如手機(jī)屏，其實(shí)分為內(nèi)外兩層，中間夾著一層薄膜，是顯示效果的關(guān)鍵；光伏產(chǎn)業(yè)的光伏玻璃表面也常常有薄膜，臺(tái)階儀可以用來測(cè)量這些薄膜的高度，所以行內(nèi)人也叫它膜厚儀或者薄膜測(cè)厚儀。
至于段差分析儀，是因?yàn)閺膶I(yè)測(cè)量的角度來講，以上這些所有的測(cè)量，都是在測(cè)量“段差"（日語，意為“高低的差異"），并且對(duì)段差進(jìn)行數(shù)據(jù)和圖形的分析。所以，段差分析儀是一個(gè)更學(xué)術(shù)的名稱，只是和臺(tái)階儀、膜厚儀、薄膜測(cè)厚儀命名的角度不同。
后期，我們會(huì)繼續(xù)更新臺(tái)階儀的結(jié)構(gòu)、使用、各家臺(tái)階儀比較等等方面的內(nèi)容，歡迎持續(xù)關(guān)注。
日本進(jìn)口的KOSAKA 臺(tái)階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對(duì)應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位測(cè)量，面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動(dòng)化測(cè)量和超大型工廠全自動(dòng)化測(cè)量的需求。
關(guān)鍵詞：臺(tái)階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測(cè)厚儀 | 段差分析儀
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