最近幾年。隨著機械，電子和光學行業(yè)的快速發(fā)展，對精密加工表面的質量要求越來越高，使得表面粗糙度的測量越來越重要。激光核聚變驅動器，磁盤，光盤，X射線光學儀器組件，大功率激光窗和同步加速器元件的表面粗糙度要求已達到納米級要求。
這些需求也極大地促進了表面粗糙度測量技術的發(fā)展。輪廓儀粗糙度儀表面粗糙度測量技術的未來方向是什么？現(xiàn)代科學技術的許多領域對表面質量提出了更高的要求。一方面，現(xiàn)有的常規(guī)檢測方法無法滿足測量精度的要求，尤其是近年來納米技術的出現(xiàn)和逐步普及與應用。
改善了對表面粗糙度的測量要求，并且向更精細和精確的方向發(fā)展了表面粗糙度測量技術。另一方面，復雜的三維形狀加工技術的發(fā)展也對三維表面粗糙度測量的發(fā)展提出了新的要求。
已經在正常截面的輪廓上評估了長時間內表面粗糙度的表征參數(shù)，僅反映了高度和橫向距離之間的關系。它屬于“二維"評估；但是，在小范圍內評價檢查對象的表面粗糙度的情況下，也應考慮縱向距離的關系，通過“三維"評價表面粗糙度是可行的。
電子技術，計算機技術和精密加工技術的發(fā)展為表面粗糙度測量的進一步發(fā)展提供了技術基礎。 1980年代出現(xiàn)的原子力顯微鏡（AFM），掃描隧道顯微鏡（STM），掃描方法光學顯微鏡（SNOM），光子掃描隧道顯微鏡（PSTM）等是表面粗糙度測量的一個有希望的方向。
另外，在科學研究和生產實踐的許多領域中，過去的后處理采樣測量不再能滿足要求，這需要能夠在線測量的新測量方法。超高精度表面的高精度測量，3D表面粗糙度測量和在線實時測量成為未來粗糙度測量的主要方向。
關鍵詞： 表面粗糙度測量 | 三維表面粗糙度測量 | 輪廓儀粗糙度儀
