質(zhì)朋儀器貿(mào)易（上海）有限公司
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閱讀：490發(fā)布時(shí)間：2021-10-14
導(dǎo)讀：臺階儀廣泛應(yīng)用于液晶面板及半導(dǎo)體等行業(yè)，能夠幫助企業(yè)進(jìn)行有效的鍍層厚度管控。本文主要介紹目前液晶面板行業(yè)用途比較廣泛的ITO Film ITO厚度檢測設(shè)備kosaka臺階儀ET4000LPX。
玻璃基板易碎、重量大的缺點(diǎn)、并且大尺寸的玻璃基板制作不易；設(shè)備成本昂貴故往塑料基板趨勢發(fā)展。塑料基板具質(zhì)輕薄、耐沖擊及可撓曲等特性。目前中國的液晶面板產(chǎn)能占據(jù)世界產(chǎn)能的半壁江山，ITO FILM需求市場巨大。
日本進(jìn)口的KOSAKA 臺階儀ET4000LPX就是用于ITO FILM ITO厚度的質(zhì)量管控，介紹如下：
KOSAKA 臺階儀ET4000系列
（/products/21.html）
● 高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
●是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇
●可提供多孔質(zhì)stage，及分段式真空吸附，一鍵式減少film 基材吸附時(shí)產(chǎn)生的變形
KOSAKA 臺階儀ET4000LPX
1－1檢出器PU-EA2W
?量測力 min. 0.5 µN ~ Max. 500 µN
?量測方式 Differential transforme（直動式）。
?量測范圍 370 µm
?測針大小 2um或者0.5um等可選
1－2量測單元
?量測長度 100mm
?量測速度 0.005 ~ 20.0 mm/s
?X量測精度 0.01um
?定位精度 ±5um
?手動PX軸 400mm
?手動PX軸速度 Max.15mm/S
1－3分析功能
?保留、讀取，及打印量測數(shù)據(jù)及圖形的功能
?執(zhí)行編輯自動量測recipe功能
?對段差及粗糙度的分析功能
?應(yīng)力分析功能
以下圖片是我們的客戶用KOSAKA 臺階儀來測VLSI標(biāo)樣的實(shí)拍圖，供參考。歡迎有意者來電共同探討！
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