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所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:呂經(jīng)理 (經(jīng)理)

技術(shù)文章

臺(tái)階儀的書面參數(shù)與實(shí)際測量結(jié)果的差別

閱讀:293發(fā)布時(shí)間:2021-10-14

導(dǎo)讀:臺(tái)階儀的書面參數(shù)是設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)過程中,在理想條件下避免各類外界干擾因素才能達(dá)到的;在實(shí)際測量中,設(shè)備安裝和運(yùn)行環(huán)境中的變量,以及樣品本身的均一性,都是使得臺(tái)階儀實(shí)際測量結(jié)果和其書面參數(shù)有一定差異的原因;用戶在購買和使用設(shè)備時(shí),應(yīng)合理調(diào)整自己的期望值,充分了解設(shè)備的能力與自身需求的匹配性。


對于花費(fèi)了大量時(shí)間、精力和財(cái)力購買回來的測量設(shè)備,每一位用戶都希望物有所值。很多客戶在閱讀臺(tái)階儀的專業(yè)測樣報(bào)告時(shí)提出疑問:為什么測樣的實(shí)際結(jié)果和前期調(diào)研交流時(shí)在彩頁和型錄上的書面參數(shù)相去甚遠(yuǎn)?是不是臺(tái)階儀參數(shù)夸大,設(shè)備實(shí)際性能根本達(dá)不到?事實(shí)上,并非如此。


臺(tái)階儀的書面參數(shù)來自于理想測試環(huán)境下對樣品的測量。一方面,研發(fā)一臺(tái)精密測量儀器時(shí),測試環(huán)境一定是盡力接近的:恒溫恒濕、無振動(dòng)輻射、無運(yùn)動(dòng)氣流;另一方面,測量的樣品是以高標(biāo)準(zhǔn)工藝打磨出的理想標(biāo)準(zhǔn)片,其平面度、表面粗糙度、臺(tái)階高度和形狀以及產(chǎn)品的均一性都處于適合測量的狀態(tài)。由此,才有了型錄和彩頁上的書面參數(shù)。



實(shí)際測量中,會(huì)受到臺(tái)階儀運(yùn)行環(huán)境中的各類因素的干擾和樣品本身均一性的限制,因此數(shù)據(jù)和彩頁、型錄上的書面參數(shù)有一定差距。例如,客戶的設(shè)備安裝環(huán)境,可能有電腦、電扇、空調(diào)、真空泵或者影響空氣運(yùn)動(dòng)和造成震動(dòng)的其他因素,在微米尺度的測量中,這些震動(dòng)的影響并不大,但到了數(shù)十納米時(shí),這些因素對測量結(jié)果的影響就顯現(xiàn)出來了;除此之外,一些使用者自身生產(chǎn)的樣品表面本身均一性水平就不高,毛刺、坑洼多見。在這種情況下,即使臺(tái)階儀精度再好,穩(wěn)定性再優(yōu)良,也無法達(dá)到設(shè)備書面參數(shù)的水平。



因此,客戶在購買臺(tái)階儀前,能夠?qū)ψ陨淼男枨蠛凸?yīng)商的產(chǎn)品性能有明確的了解,從而合理調(diào)整自己的期望值。前期調(diào)研中和設(shè)備供應(yīng)商進(jìn)行面對面交流,以及開誠布公的技術(shù)問答,能夠起到很大作用。


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日本進(jìn)口KOSAKA 臺(tái)階儀,有ET200A,ET4000系列和ET10000,分別對應(yīng):學(xué)術(shù)和科研單位的膜厚測量(如工程系、材料系和機(jī)電系材料測量需求),面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動(dòng)化測量和超大型工廠全自動(dòng)化測量的需求。


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