質朋儀器貿易（上海）有限公司
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閱讀：227發(fā)布時間：2021-10-14
臺階儀的直線度是什么？有什么作用？如果知道花費幾十萬元購買的臺階儀，測出來的結果有可能不準，自己所看到的圖形和數據，也都是經過測量軟件算法處理之后想讓你看到的樣子，用戶想必不會滿意。尤其在學術科研領域，極小的數據差別和不理想的重現性變化，都有可能會影響到研究結果的可信度。如果您是科研領域的臺階儀用戶，相信這篇文章多少可以為您提供一些可供參考的資料。
臺階儀作為接觸式的精密測量設備，其測量方式往往是探針接觸樣品表面后，沿X軸方向測量一定的長度，然后評估這段長度上出現的臺階高度。這段距離可長可短，一般來說，對精度和分辨率的要求越高，距離應盡可能設置的越短。此外，也要考慮樣品工藝和制程是否優(yōu)良。
如果沒有直線度的保證，測量長度越長，測量結果失真就越嚴重。就好像在黑板上畫一條線，畫10厘米，大家都能畫得很直，和黑板的上下底邊保持平行，但如果是50厘米，100厘米，500厘米呢？對設備來說，道理也是一樣的。測量長度越長，平臺移動軸保持在一條直線上的難度就越大，極小的偏移也會導致測量位置不理想。更何況相對于2D的黑板來說，實際測量中的偏移是3D的，以理想的移動軸直線為軸心線而構成的整個圓柱，都是可能發(fā)生偏移的方向。下圖中，是沒有直線度保證設備的實際測量結果舉例。
株式會社小坂研究所專注于精密測量設備的制造，對移動軸直線度的保證有著自己的核心技術。Kosaka ET系列臺階儀,能夠達到100mm的測量長度上，其直線度的偏差量小于0.2um——也就是說，如果偏移量是以移動方向為軸心線形成的圓柱，小班研究所可以將這個圓柱做到高度為100,000um,但半徑小于0.2um的程度，從而保證還原樣品表面的真實形貌和臺階高度。
總而言之，直線度是鮮為人知但卻對測量結果有重要意義的一項技術參數。如果您的研究成果或研發(fā)產品對這一指標有較高標準，歡迎您致電質朋儀器，我們將為您提供專業(yè)的儀器選購咨詢、免費的測樣服務和優(yōu)質的售后服務。質量向上，朋賢友達，期待您的垂詢！
日本進口KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對應：學術和科研單位的膜厚測量（如工程系、材料系和機電系材料測量需求），面板、光伏、半導體等產業(yè)工廠自動化測量和超大型工廠全自動化測量的需求。
關鍵詞：臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀
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