質(zhì)朋儀器貿(mào)易（上海）有限公司
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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商
商鋪產(chǎn)品：45條
所在地區(qū)：上海上海市
聯(lián)系人：呂經(jīng)理 （經(jīng)理）
閱讀：1081發(fā)布時(shí)間：2021-10-14
導(dǎo)讀：FP3030是日本精密測(cè)量?jī)x器行業(yè)產(chǎn)、學(xué)、研三方面緊密合作的研究成果，為微細(xì)深孔測(cè)量帶來(lái)了可靠而高效的解決方案。
在精密測(cè)量領(lǐng)域，有一項(xiàng)特殊的測(cè)量任務(wù)，無(wú)論對(duì)接觸式探針測(cè)量還是非接觸式光學(xué)測(cè)量都是極大的挑戰(zhàn)——“深孔"測(cè)量。面對(duì)極小寬深比的深孔，接觸式測(cè)量往往會(huì)因?yàn)闇y(cè)針直徑過(guò)粗或者針尖角度過(guò)大的限制，無(wú)法深入測(cè)量，或不能測(cè)量側(cè)壁粗糙度；非接觸式光學(xué)測(cè)量則會(huì)因?yàn)楣獾母缮?、無(wú)法對(duì)焦、無(wú)法收回足夠的光量與數(shù)據(jù)點(diǎn)等原因而檢測(cè)失敗?；谔攸c(diǎn)的相似性，溝槽的測(cè)量也面臨此困境。與此同時(shí)，帶有深孔和溝槽的工件和產(chǎn)品分布廣泛，是半導(dǎo)體、汽車(chē)等行業(yè)生產(chǎn)中難以避開(kāi)的環(huán)節(jié)，具有相當(dāng)大的潛在需求。針對(duì)這一測(cè)量難題，株式會(huì)社小坂研究所和日本大學(xué)、研究院緊密合作，成功研發(fā)了微細(xì)孔3D形狀測(cè)定機(jī)FP3030，現(xiàn)已正式投入生產(chǎn)并面向市場(chǎng)。
FP3030使用高彈性光纖維測(cè)針，結(jié)合激光、三棱鏡與光電二極管共同構(gòu)成傳感測(cè)量裝置。未測(cè)量狀態(tài)下，光電二極管受光量均一；測(cè)量狀態(tài)下，測(cè)針進(jìn)入深孔，以圓周型軌跡接觸深孔側(cè)壁采集數(shù)據(jù)，由于測(cè)針位置的變化，光電二極管受光量發(fā)生變化，F(xiàn)P3030由此測(cè)量出深孔內(nèi)部的表面形貌。
藉由質(zhì)輕且纖細(xì)的高彈性光纖維測(cè)針，F(xiàn)P3030能以微小的測(cè)定力測(cè)量直徑最小10um，300um的深孔內(nèi)部形狀，垂直分辨率達(dá)到10nm。具體測(cè)量應(yīng)用包括：①深孔的內(nèi)徑、外徑、深度；②溝槽的內(nèi)寬、外寬、深度、側(cè)壁形狀。同時(shí)，F(xiàn)P3030測(cè)量軟件具有真圓度、圓柱度、直徑、臺(tái)階、槽寬、直角度、粗糙度多種參數(shù)解析功能。
針對(duì)孔徑為80um的微細(xì)深孔，F(xiàn)P3030測(cè)量其內(nèi)徑的重復(fù)精度在20nm以下：
孔徑10um，孔間距為20um，深度為0-140um的微細(xì)深孔測(cè)量實(shí)例：
以下是FP3030微孔形狀測(cè)量的部分實(shí)際應(yīng)用舉例：（一）半導(dǎo)體封裝TSV（Through Silicon Via，硅通孔技術(shù)）的側(cè)壁粗糙度測(cè)量，孔徑為10um，深度為100-500um；（二）汽車(chē)燃料噴嘴口形狀測(cè)量，孔徑10-100um；（三）打印機(jī)油墨噴嘴口內(nèi)部形狀測(cè)量，孔徑為數(shù)十微米；（四）紡織機(jī)械線(xiàn)嘴內(nèi)部形狀測(cè)量，孔徑10-100um。
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