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閱讀：47發(fā)布時(shí)間：2026-2-27
IC封裝是電子半導(dǎo)體中常見(jiàn)的封裝方式之一，是指通過(guò)把硅片上的電路管腳，用導(dǎo)線接引到外部接頭處，以便與其它器件連接。封裝形式是指安裝半導(dǎo)體集成電路芯片用的外殼。它不僅起著安裝、固定、密封、保護(hù)芯片及增強(qiáng)電熱性能等方面的作用，而且還通過(guò)芯片上的接點(diǎn)用導(dǎo)線連接到封裝外殼的引腳上，這些引腳又通過(guò)印刷電路板上的導(dǎo)線與其他器件相連接，從而實(shí)現(xiàn)內(nèi)部芯片與外部電路的連接。
因?yàn)樾酒仨毰c外界隔離，以防止空氣中的雜質(zhì)對(duì)芯片電路的腐蝕而造成電氣性能下降。
而在IC的生產(chǎn)和IC封裝中，大多數(shù)工序都需要超純水進(jìn)行清洗，晶圓及工件與水直接接觸，在封裝過(guò)程中的減薄工序和劃片工序，更是離不開(kāi)超純水，一方面晶圓在減薄和劃片過(guò)程中的硅粉雜質(zhì)得到洗凈，而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯粒再污染，這毫無(wú)疑問(wèn)將對(duì)封裝后的IC質(zhì)量有著極大的影響。
IC集成度的進(jìn)一步提高，對(duì)水中污染物的要求也將更加嚴(yán)格。據(jù)美國(guó)提出的水質(zhì)指標(biāo)說(shuō)明，集成度每提高一代，雜質(zhì)都要減少1/2～1/10。
隨著半導(dǎo)體IC設(shè)計(jì)規(guī)則從1.5～0.25μm的變化，相應(yīng)地超純水的水質(zhì)除電阻率已接近理論極限值外，其TOC(總有機(jī)碳)、DO(溶解氧)、Si02、微粒和離子性雜質(zhì)均減少2～4個(gè)數(shù)量級(jí)。
在當(dāng)前的水處理中，各項(xiàng)雜質(zhì)處理的難易程度依次是TOC、SiO2、DO、電阻率，其中電阻率達(dá)到18MΩ.cm(25℃)是當(dāng)前比較容易達(dá)到的。由于TOC含量高會(huì)使柵氧化膜尤其是薄柵氧化膜中缺陷密度增大，所以柵愈薄要求TOC愈低，況且現(xiàn)在IC技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)中，芯片上柵膜越來(lái)越薄，故降低TOC是當(dāng)前和今后的難點(diǎn)，因而已成為當(dāng)今超純水水質(zhì)的象征和重心。
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