利用電磁原理的傳感器統(tǒng)稱為電磁壓力傳感器,主要包括霍爾壓力傳感器、電感壓力傳感器、電渦流壓力傳感等。
1、霍爾壓力傳感器
霍爾壓力傳感器是基于某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)制成的?;魻栃?yīng)是指當(dāng)固體導(dǎo)體放置在一個磁場內(nèi),且有電流通過時,導(dǎo)體內(nèi)的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊,繼而產(chǎn)生電壓(霍爾電壓)的現(xiàn)象。電壓所引致的電場力會平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性,可證實(shí)導(dǎo)體內(nèi)部的電流是由帶有負(fù)電荷的粒子(自由電子)之運(yùn)動所造成。
在導(dǎo)體上外加與電流方向垂直的磁場,會使得導(dǎo)線中的電子受到洛倫茲力而聚集,從而在電子聚集的方向上產(chǎn)生一個電場,此電場將會使后來的電子受到電力作用而平衡掉磁場造成的洛倫茲力,使得后來的電子能順利通過不會偏移,此稱為霍爾效應(yīng)。而產(chǎn)生的內(nèi)建電壓稱為霍爾電壓。
當(dāng)磁場為一交變磁場時,霍爾電動勢也為同頻率的交變電動勢,建立霍爾電動勢的時間極短,故其響應(yīng)頻率高。常用霍爾元件的材料大都是半導(dǎo)體,包括N型硅(Si)、銻化銦(InSb)、砷化銦InAs)、鍺(Ge)、砷化鎵GaAs)及多層半導(dǎo)體質(zhì)結(jié)構(gòu)材料。
2、電感壓力傳感器
電感式壓力傳感器的工作原理是由于磁性材料和磁導(dǎo)率不同,當(dāng)壓力作用于膜片時,氣隙大小發(fā)生改變,氣隙的改變影響線圈電感的變化,處理電路可以把這個電感的變化轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的信號輸出,從而達(dá)到測量壓力的目的。該種壓力傳感器按磁路變化可以分為兩種:變磁阻和變磁導(dǎo)。電感式壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)在于靈敏度高、測量范圍大;缺點(diǎn)就是不能應(yīng)用于高頻動態(tài)環(huán)境。
變磁阻式壓力傳感器主要部件是鐵芯跟膜片。它們跟之間的氣隙形成了一個磁路。當(dāng)有壓力作用時,氣隙大小改變,即磁阻發(fā)生了變化。如果在鐵芯線圈上加一定的電壓,電流會隨著氣隙的變化而變化,從而測出壓力。
在磁通密度高的場合,鐵磁材料的導(dǎo)磁率不穩(wěn)定,這種情況下可以采用變磁導(dǎo)式壓力傳感器測量。變磁導(dǎo)式壓力傳感器用一個可移動的磁性元件代替鐵芯,壓力的變化導(dǎo)致磁性元件的移動,從而磁導(dǎo)率發(fā)生改變,由此得出壓力值。
3、電渦流壓力傳感器
基于電渦流效應(yīng),由一個移動的磁場與金屬導(dǎo)體相交,或是由移動的金屬導(dǎo)體與磁場垂直交會所產(chǎn)生。簡而言之,就是電磁感應(yīng)造成的。這個動作產(chǎn)生了一個在導(dǎo)體內(nèi)循環(huán)的電流。電渦流特性使電渦流檢測具有零頻率響應(yīng)等特性,因此電渦流壓力傳感器可用于靜態(tài)力檢測。
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