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上期我們說的是磁性式膜厚測厚儀特點、渦電流式膜厚測厚儀特點、紅外膜厚測厚儀特點,接下來說說電解式膜厚測厚儀、金相膜厚測試法、X-RAY膜厚測厚儀三種膜厚測厚儀。接下來一六小編說說膜厚測試儀器儀表種類介紹及特點。
電解式(庫倫法)
可以測量多層鍍膜,幾乎可測試目前所有常見的電鍍鍍層,其缺點則是操作過程繁復(fù),消耗品如藥水價格高代表機型: KOKI CT1及CT2。
電解式膜厚測厚儀特點:
1、價格經(jīng)濟,約1-5萬左右但具體的的材料要選擇不同的電解液和標(biāo)準(zhǔn)片且電解液和標(biāo)準(zhǔn)片 都是消耗品。消耗月價格高。
2、有損檢測標(biāo)準(zhǔn)片也是消耗品。操作復(fù)雜,體積較小,約10000cm2,3000g左右。
3 、測量厚度范圍較廣越厚越準(zhǔn)確。0.006~ 300um左右,能測試4層膜?厚,并且可以測量合金鍍層。
4、測量精度高,1%左右,分辨率高,0.001um左右。
5、測頭的面積較小,對需測的樣品要求不高: 1.7mmψ以上即可測量,基材厚度無要求。

金相測試法
對樣品進行切割、鑲埋、研磨拋光等前處理后,利用金相顯微鏡或者掃描電鏡等,直接放大幾百到幾萬倍量測其厚度。
金相膜厚測試法特點:
1、價格較高,所需要設(shè)備多整套設(shè)備大約需要幾十萬到上百萬。
2、直接測試厚度,較直觀不受密度等影響,測試準(zhǔn)確。
3、有損測試,破壞樣品。
4、前處理時間長。
非破壞熒光式( x光)
使用X射線進行波譜測量進而換算厚度,精度高,速度快,視機種可測試3-5層以上膜厚,
0.1mmψ以下面積也可測量。多層合金的成分含量也能計算。代表機型: XTU-5OB、XULM240、Thick800A。
X-RAY膜厚測厚儀特點:
1、價格高,機種不同價格在10萬~100萬左右,可測試P(磷) ~UO(鈾)A并且支持Rohs及元素分析功能等。
2、無損檢測Windows操作系統(tǒng) 使用簡便。操作快速能適應(yīng)多類鍍層。大量檢測,但體積較大,訐算機除外約100000cm250000g左右。
3、測量厚度范圍較廣0.002um~ 100um左右能測試5層以上膜厚并且可以測量合金鍍層,也可分析鍍層元素和含量比。
4、測量精度高, 1%左右;分辨率高0.001um左右。
5、 A測頭的面積較小對需測的樣品要求不高0.1mmψ以下也可測量,基材厚度無要求。
6、可編程XYZ測量臺及大移動范圍。
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