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tcwafer晶圓測試儀熱電偶

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參考價: ￥ 10000 ￥ 8000

訂貨量: 1-4 套 ≥5 套

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號K

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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所在地蘇州市

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更新時間：2025-12-05 09:34:44瀏覽次數(shù)：536次

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蘇州深鉑維溫控設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：14條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：袁國進（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

安裝方式	簡單保護套插入	材質(zhì)	玻璃,陶瓷
產(chǎn)地	國產(chǎn)	常見種類	標(biāo)準(zhǔn)熱電偶
分度號	K	工作原理	數(shù)字式
加工定制	是	聯(lián)接型式	無固定裝置
熱響應(yīng)時間	1s	適用領(lǐng)域	塑料,食品,包裝,冶金,機械,紡織,制冷,烘箱,其他
外形尺寸	1000mmm	允差等級	Ⅰ級
允差值	1.1℃	重量	1.4kg

tcwafer晶圓測試儀熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

詳細(xì)介紹

tcwafer晶圓測試儀熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

溫度范圍：

低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）

高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計）

熱電偶選型：

● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級別±1.1°C or 0.4%)，溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質(zhì)：

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底。可按客戶要求定制基板、形狀和尺寸。

主要規(guī)格：

4寸，6寸，8寸，12寸

擴展線：可選絕緣層材質(zhì)，接頭類型。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長度由客戶選

傳感器引線：長達40英尺–可定制,

被覆材質(zhì)：石英陶瓷纖維 TEF

絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺

線規(guī)：20 AWG – 40 AWG

a）主要型號有k/t/r(根據(jù)測溫范圍以及精度要求選型)

k型適合：0°c -600°c，精度級別為±1.1°c or ±0.4%

t型適合：200°c以下，精度級別為±0.5°c or ±0.4%

r型適合：0°c-1100°c，精度級別為0.1%

b)產(chǎn)品主要規(guī)格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸

c)溫接點可生產(chǎn)1~24點（但硅片越小測溫點盡量減少，因為焊點需要打孔存在應(yīng)力，另外需要排線，測溫點越多難度越高）

d)使用環(huán)境為普通或者真空環(huán)境

e）晶圓材質(zhì)：硅片或藍(lán)寶石襯底片

tcwafer晶圓測試儀熱電偶

菘啟工業(yè)有限公司是中國臺灣溫度傳感器制造公司，于2002年在珠三角地區(qū)設(shè)立的服務(wù)據(jù)點松揚溫控。菘啟工業(yè)有限公司在1995年2月于臺北成立，擁有："BS EN ISO 9001:2000 品質(zhì)認(rèn)證"，"ISC/IEC GODE25 溫度實驗室認(rèn)證"，"UL IEC 17025 二級溫度實驗室認(rèn)證"等三大認(rèn)證。以其的設(shè)備，專業(yè)的知識，的技術(shù)，已為國內(nèi)外廣大客戶提供溫度傳感控制方面的解決方案。菘啟工業(yè)有限公司多次參與中國傳感器協(xié)會會議，并于會中針對溫度傳感技術(shù)發(fā)表專題研討。不斷的創(chuàng)新與對品質(zhì)一貫的堅持，是我們宗旨。期望能為廣大客戶提供優(yōu)良，高質(zhì)的服務(wù)。

菘啟工業(yè)有限公司——是溫度測量控制產(chǎn)品及高溫材料供應(yīng)商，產(chǎn)品應(yīng)用于航太、半導(dǎo)體、太陽能光伏、LED、石油化工也、汽車工業(yè)、食品業(yè)等高科技產(chǎn)業(yè)及傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)。公司依托中國臺灣總公司的*研發(fā)、校驗?zāi)芰?；東莞的生產(chǎn)基地以及昆山的技術(shù)服務(wù)與支持，現(xiàn)已形成全方面的產(chǎn)品設(shè)計、開發(fā)、制造、校驗的系統(tǒng)方案提供商。

公司始終堅持為客戶創(chuàng)造更多價值；提供穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品；細(xì)致專業(yè)的服務(wù)，讓THERMOWAY品牌獲得業(yè)界更多的認(rèn)同及尊重

THERMOWAY RTD WAFER 專為需要高精度溫度測量的製程所設(shè)計，例如半導(dǎo)體光阻劑處理系統(tǒng)、晶圓探測器和許多其他類型的半導(dǎo)體製造設(shè)備。透過研發(fā)團隊精心整合設(shè)計帶來高量測精度和結(jié)果穩(wěn)定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測量方式是關(guān)鍵的集成元件。

Features l 工作溫度範(fàn)圍： -80°C to 300°C l 溫度點位： 1 to 160 points l 提供校正服務(wù) l 提供應(yīng)用軟體及分析系統(tǒng)

Applications l 測量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩(wěn)定狀態(tài)、冷卻和卸載。 l 提升對溫度的控制及?致性。 l 管理具有嚴(yán)格熱性能規(guī)格的生產(chǎn)流程或為 SPC 系統(tǒng)提供數(shù)據(jù)。 l 在硬體或製程研發(fā)期間優(yōu)化晶圓工藝。 l 在最終鑑定、晶圓廠啟動以及修復(fù)或升級系統(tǒng)的重新鑑定過程中對晶圓廠設(shè)備進行測試和基準(zhǔn)測試。